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可变量功能(Variable)和连接功能(Link)是可以方便用户对于结构中存在变量,以及同时存在多个变量时的仿真,可变量功能可以一次计算多种仿真条件,从而用户可以很容易地对各种条件下的数据进行比较和分析,而连接功能可以同时改变两个或两个以上的条件,在某些数据复杂的情况下可以简化数据,降低运算量。其含义解释可参考下图 p;ZDpR 3mA/Nu_ 本案例在一个简化的IPS结构来使用变量和连接的功能 )fR1n}# gD40y\9r 1. 建模任务 nK:`e9ES 1.1堆栈结构 +}]wLM}\UF 1.2本案例中将电极宽度作为可变量,并将变量使用连接功能连接起来,从而查看几个电极宽度同时变化时对应的参数 1
'%-y A'v[SUW'm 2. 建模过程 5oa]dco 2.1在堆栈结构中指定需要作为可变量的参数,如下图。 9;:7e*x]lc RA~_]Hk 分别选中三个“Mask” 将“Mask”中的宽度选为“Variable” Ug` 2.2对掩膜宽度设置变量,并“link”起来 /K& |