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    [技术]模拟由衍射光束整形器和非球面透镜组成的非近轴光束整形系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-29
    1.建模任务 cag9f?w@V  
     ~wX4j  
    ]t'bd <O  
    xQKD1#y  
    n-%8RV  
    4t Z. T9d  
    ku`bwS  
     偏振:x方向的线性偏振 HJV8P2f8`  
    激光直径(1/e2):3.26mm $AI0&#NM  
    波长:632.8nm 02_37!\  
    x>E**a?!L  
    ^mNPP:%iN  
    @Z50S 8  
    9YtdE*,k  
    衍射光束整形器元件传输 jNO8n)a&p  
    像素大小:21.5×21.5um 4 Ii@_r>  
    像素:250×250 Q302!N  
    直径:5.4×5.4mm O8J:Tw}M*  
    相位级次:4 JN{xh0*  
       .x^`y2'U  
    guD?~-Q  
    2.光路图 _:tclBc8R  
    H=7z d|W  
    c/c%-=  
    w|1Gb[  
    开始光学系统仿真 ,Cj8{s&;  
    wq( m%F  
    D(GAC!|/]  
    (\^)@Y  
    3.系统仿真 8J- ;/  
    u D.E>.B  
    :EUV#5V.  
    I)-u)P?2x  
     目标屏上的强度 ^z[-pTY  
     效率:72% Kk^tQwj/QE  
     均匀性误差:3.7% >:ZlYZ6sI  
    _n3Jf<Y  
    4.结论 N1V qK  
     可以仿真近轴和非近轴透镜以及透镜系统。 F C= %_y  
     已存储的传输函数允许将任意振幅和相位调节引入到光波。 Wu 71q=  
     允许仿真衍射光学元件产生的效应。
     
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