1.建模任务 cag9f?w@V ~wX4j
]t'bd<O xQKD1#y
n-%8RV 4t Z. T9d ku`bwS 偏振:x方向的线性偏振
HJV8P2f8`
激光直径(1/e2):3.26mm
$AI0NM
波长:632.8nm
02_37!\ x>E**a?!L
^mNPP:%iN @Z50S 8 9Ytd E*,k 衍射光束整形器元件传输
jNO8n)a&p 像素大小:21.5×21.5um
4
Ii@_r> 像素:250×250
Q302!N 直径:5.4×5.4mm
O8J:Tw}M* 相位级次:4
JN{xh0* .x^`y2'U guD?~-Q 2.光路图 _:tclBc8R H=7z d|W
c/c%-= w|1Gb[ 开始
光学系统仿真 ,Cj8{s&; wq( m%F
D(GAC!|/] (\^)@Y 3.系统仿真 8J-;/
u D.E>.B
:EUV#5V. I)-u)P?2x 目标屏上的强度
^z[-pTY 效率:72%
Kk^tQwj/QE 均匀性误差:3.7%
>:ZlYZ6sI _n3Jf<Y 4.结论 N1V qK 可以仿真近轴和非近轴
透镜以及透镜系统。
FC= %_y 已存储的传输函数允许将任意振幅和相位调节引入到光波。
Wu
71q= 允许仿真衍射光学元件产生的效应。