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激光系统>扫描系统 r4<As` & ; 6PRi/@ 任务/系统描述 ~gHn>]S0 KP
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><xmw= qM6hE.J 亮点 %I{>H%CjE $G{j[iLY
*e<}hmDr ;?q}98-2 对用户自定义的扫描过程建模 s
{^wr6B 多样的可选择的角度定义 #)@#Qd 完全扫描以及附加光学设置过程中的高速仿真 kR:kn: 已扫描光斑的畸变评价 8@LUL)" =vvd)og 说明:光源 EUVD)+it |QMmF" 0 5#s],h 说明:扫描镜系统 sI h5cT !m%'aQHH( bfm+!9=9S Ryh 0r 说明:非球面透镜作为扫描光学系统 gs=ok8w b)M-q{ "6U@e0ht <mj/P|P@ 说明:探测器 ~j(vGO3JB #I*{_|}= vLBuE KUK.;gG*Z 结果:3D系统光线追迹 4:^MSgra t;/uRN*.
6 eu7&Kj' K=E+QvSG 结果:3D光线追迹(轴上&离轴) ~WORC\kCW >)G[ww[ !M`.(sO] +rA#]#hN 结果:轴上光束轮廓 'o4`GkNh) w!v^6[! kFY2VPP~ *W`7JL, 结果:离轴光束轮廓 023uAaI^3r j@^zK!mO i+_=7(e 6xwjKh:9 结果:离轴光束轮廓(倾斜探测器) ARt{ 2| 1]5k lJ <
W`gfpzO _ `O",Ff 结果:扫描过程 b9"t%R9/Q nw, .I [
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