切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 570阅读
    • 0回复

    [技术]对使用非球面透镜的激光扫描系统进行性能分析 [复制链接]

    上一主题 下一主题
    离线infotek
     
    发帖
    6243
    光币
    25360
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-21
    激光系统>扫描系统 r4<As`&  
    ; 6PRi/@  
    任务/系统描述 ~gHn>]S0  
    KP 6vb@(6  
    ><xmw=  
    qM6hE.J   
    亮点 %I{>H%CjE  
    $G{j[iLY  
    *e<}hm Dr  
    ;?q}98-2  
     对用户自定义的扫描过程建模 s {^wr6B  
     多样的可选择的角度定义 #)@#Qd  
     完全扫描以及附加光学设置过程中的高速仿真 kR:kn:  
     已扫描光斑的畸变评价 8@LUL)"  
    =vvd)og  
    说明:光源 EUVD)+it  
                       |QMmF"0  
    5#s],h  
    说明:扫描镜系统 sI h5cT  
    !m%'aQHH(  
    bfm+!9=9S  
    Ryh 0r  
    说明:非球面透镜作为扫描光学系统 gs=ok8w  
                         b)M- q{  
    "6U@e0ht  
    <mj/P|P@  
    说明:探测器 ~j(vGO3JB  
    #I*{_|}=  
    vLBuE  
    KUK.;gG*Z  
    结果:3D系统光线追迹 4:^MSgra  
    t;/uRN*.  
    6 eu7&Kj'  
    K=E+QvSG  
    结果:3D光线追迹(轴上&离轴) ~WORC\kCW  
    >)G[ww[  
    !M`.(sO]  
    +rA#]#hN  
    结果:轴上光束轮廓 'o4`GkNh)  
    w!v^6[!  
    kFY2VPP~  
    *W`7JL,  
    结果:离轴光束轮廓 023uAaI^3r  
       j@^zK!mO  
    i+_=7(e  
    6xwjKh:9  
    结果:离轴光束轮廓(倾斜探测器) ARt{ 2|  
       1]5k l J  
    < W`gfpzO  
    _`O",Ff  
    结果:扫描过程 b 9"t%R9/Q  
    nw,.I [  
    0l& '`  
     
    分享到