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摘要 !"">'}E1 L>*|T[~ 斐索干涉仪是工业中常见的光学计量设备,它们通常用于光学表面质量的高精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。 3KZ h?~B v7RDoO]I
A-5%_M3\G HxAa,+k 建模任务 ijT^gsLL X13bi}O6# *9 xD]ZZF =Ih_[$1dw 倾斜平面下的观测条纹 T~d';P U$%w"k7^(
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