如何将光聚焦到一个越来越小的光斑上,是
光学领域中一直存在的问题,特别是最近,已发展出各种旨在深聚焦光的方法。研究高数值孔径条件下的光聚焦通常需要全矢量电磁
仿真技术。我们使用VirtualLab Fusion软件演示了不同偏振态(如径向)和孔径形状(如环形)对聚焦区域电磁场的影响,这种分析既可以用理想
透镜,也可以用具有明确
结构和
材料信息的真实透镜进行。
YG_3@`-< GZ"O%:d 用消球差透镜对各种偏振光束进行深聚焦 <}ev Ow2
Kxq~,g=t VirtualLab Fusion中的消球差透镜
模型,为分析具有不同形状孔径的各种偏振矢量场的聚焦效果,提供了一种简便的方法。
UU_k"D~ >. A{=? 分析高NA物镜聚焦
:\ S3[(FV Cpl\}Qn 高NA物镜广泛应用于光刻、显微等领域。在对这种聚焦
系统的仿真中,考虑光的矢量特性是非常重要的。
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