1.目前难题,膜层牢固度不够,膜裂严重 R:^jQ'1
2.目前镀膜工艺 dgByl-8Q
设备:光驰1550 '['x'G50
镀膜前60度恒温40分钟 ]_!NmB_3
第一层不使用离子源清洁、同时第一层不使用离子源辅助 =yJV8%pa
TI3O5打底厚度200nm d,'gh4C
功能层:石英环/TI3O5交替镀膜 2>CR]
功能层使用离子源辅助镀膜 SFEDR?s
离子源工艺能量为:500V/500mA 80gOh:
3.听说有加硬的方法,想请教一下各位好心前辈一些问题 9*!*n ~
(1)加硬之后不会对PMMA光学性能产生影响吗,例如,透射率,折射率 uXA}" f2
(2)有没有可以加硬不改变PMMA光学性能的厂家推荐。 &I{5f-o*