介绍 1@ &J"* NIQ}+xpC 在高约束
芯片上与亚微米波导上耦合光的两种主要方法是
光栅或锥形耦合器。[1]
AB,(%JT/2{ 耦合器由高折射率比
材料组成,是基于具有
纳米尺寸尖端的短锥形。[2]
@ NL<v-t 锥形耦合器实际上是
光纤和亚微米波导之间的紧凑模式转换器。[2]
IDw`k[k 锥形耦合器可以是线性[1]或抛物线性[2]过渡。
4g2`[< S 选择Silicon-on-insulator(SOI)技术作为纳米锥和波导的平台,因为它提供高折射率比,包括二氧化硅层作为
光学缓冲器,并允许与集成
电子电路兼容。[2]
D_$N2>I-
Z:>3AJuS_ Bw!J!cCj IAMa [1] Jaime Cardenas, et al., “High Coupling Efficiency Etched Facet Tapers in Silicon Waveguides,” IEEE Phot. Tech. Lett. VOL. 26, NO. 23, 2380-2382 (2014)
7 kA+F+f [2] Vilson R. Almeida, et al., "Nanotaper for compact mode conversion," Opt. Lett. 28, 1302-1304 (2003);
@4Bl&(3S He4HIZ 3D FDTD仿真 KehM.c^ X"`[&