摘要 X+82[Y,mB.
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直接设计非近轴衍射分束器仍然是很困难的。由于有相对较大的分束角,元件的特征尺寸一般等于或小于工作波长。因此,它通常超出近轴建模方法的范围。在此示例中,将迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)用于衍射元结构的初始设计,然后将傅里叶模态法(FMM)应用于严格的性能评估。 _[h8P9YI4
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设计任务 j
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纯相位传输的设计 y~
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使用迭代傅立叶变换算法(IFTA)进行纯相位传输设计。 (k?7:h
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结构设计 5&!c7$K0
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在近轴假设下使用薄元近似(TEA)进行结构设计。 #0Ds'pE-
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使用TEA进行性能评估 j+IrqPKC^
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在近轴假设下使用TEA进行评估,即与设计方法相同 ci9R.U)
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使用傅里叶模态法进行性能评估 F>hZ{
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使用严格的FMM进行评估以检查非近轴情况下的实际性能。 }hpmO-
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进一步优化–零阶调整 zg)sd1@
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无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 yHo[{,4itA
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VirtualLab Fusion一瞥 _i0kc,*C\
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VirtualLab Fusion中的工作流程 x Gk6n4Gg
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• 使用IFTA设计纯相位传输 |OO in]5
•在多运行模式下执行IFTA DL^o_61
•设计源于传输的DOE结构 AM"jX"F9/
−结构设计[用例] KL,/2(
•使用采样表面定义光栅 QF2q^[>w6
−使用接口配置光栅结构[用例] Hy:V`>
•参数运行的配置 &C<yfRDu
−参数运行文档的使用[用例] jEdtJEPa
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VirtualLab Fusion技术 @&F@I3`{
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