摘要
_uBf.Qfs J ^v _VZ3 光栅是
光学中最常用的衍射元件之一。如今，它们经常被用于复杂的
系统中，并与其他元件一起工作。在这种情况下，非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来
模拟，而是与系统的其余部分结合，以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件，允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅，无论是一维周期光栅(层状)，二维周期光栅，或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能，包括光栅级次的设置和堆栈的定位。
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A $5T3j' [p <L*3< 系统内光栅建模
$] Q_x? 在一般光路中，光栅元件可以插入到系统的任何位置。
8\yH 7H 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模，并因此评估整个系统的性能成为可能，同时考虑光栅的可能影响。
?LZ)r^ger 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。
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n\ IVpgP lyib+Sa ?` 附着光栅堆栈
Z FRKh:| tHGK<r b 为了描述系统内的光栅，光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。
}n<dyX:a 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示；
仿真中不考虑孔径效应。
TWn7&,N 参考面可以在三维系统视图中可视化，以帮助排列光栅。
Z?GC+hG` 所应用的光栅
结构可以是一维周期(层状)，也可以是二维周期(交叉光栅)。
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^ =t yf&" eSvu:euv 堆栈的方向
tp1{)|pwY6 |sI^_RdBv 堆栈的方向可以用两种方式指定：
V C.r P017y&X 它既可以应用在表面的正面，也可以应用在背面(在固体标签中定义)。
rz3&khi F`-? 3]\3 请注意，如果堆栈位于正面，堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系，需要在定义高度轮廓时加以考虑。
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bk8IGhO|m! ] 03!K E 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角
]$z~;\ T ^lQej% 作为一种惯例，往往忽略基底的影响，例如衍射效率的计算。
sx/g5 ?zh 然而，任何实际的光栅结构必须建立在基底上，因此，我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。
? 56Zw"89 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。
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A\=:h AQ NoPM!.RU{ 高级选项和信息
v+\E%H 在求解器菜单中有几个高级选项可用。
}$b/g 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”，也被称为RCWA，“严格耦合波分析”)算法的精度设置。
h IGa);g 既可以设置考虑的总级次数，也可以设置倏逝级次数。
6E 如果考虑金属光栅，这可能是有用的。相反，对于介质光栅，默认设置就足够了。
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#|'8 O 4 ba 1c 结构分解
<H$ CCo $CXqkK<6 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。
| o+ vpy 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。
5uu{f&?u) 此外，还提供了有关层数和转换点数的信息。
1z8.wdWJ} 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。
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b?r0n] bi,%QZZ 光栅级次通道选择
& ??)gMM[ I{ M2nQi 可以定义具体的透射和反射级次，以供模拟中考虑。在表面被从背面
照明的情况下，也可以有不同的级次。
{"@ Bf<J# 并不总是需要考虑所有的衍射级，我们建议只使用那些感兴趣的，以确保更有效的模拟。
$i =-A 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。
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+|o -lb X.JB&~/rO 光栅的角度响应
bf}r8$, 在VirtualLab Fusion中，光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。
/0(4wZe~? 对于给定的光栅，其衍射行为与输入场有关。
BL]^+KnP 不同波长/偏振态下的衍射效率不同，不同入射角度下的衍射效率也不同。
RzyEA3L' 为了解决角度相关的衍射行为，可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。
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u_mm*o~)g ~>{<r{H"S 例：谐振波导光栅的角响应
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TN l$ P~X> .&* Tj}p 谐振波导光栅的角响应
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