作为最著名的
衍射效应之一,泰伯(Talbot)效应可以用于光刻技术中以制造周期性
纳米结构。继I.-H. Lee等人,我们在六边形网格上构造了一个圆锥形
光栅掩膜版,并以深度方式
模拟了Talbot图像的生成。 特别是,由于光刻过程中使用的紫外光是非
偏振的,因此我们在示例中演示了如何为
VirtualLab Fusion中的光栅模拟建模非偏振光。
:1q+[T/ @ 7_.z3Km: 圆锥形相位掩模的Talbot图像 GbwcbfH
"BK'<j^q 在VirtualLab Fusion中对带有圆锥体的相位掩模版进行了建模。检测到不同的Talbot图像,以使柱形图案位于主像平面中,而孔图案出现在次像平面中。
dI5Z*"`R9 kCL)F\v"iT 用于光栅仿真的非偏振光–实例讨论 [5:,+i
- 6;0 x 示范了在VirtualLab Fusion的光栅仿真建模中,如何以两个正交偏振态的平均值建模非偏振光的影响。
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