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扫描干涉测量是一种表面高度测量技术。通过利用白色光源的低相干性,只有当路径长度差落在相干性长度内时才出现干涉图案。因此,它能够实现非常精确的测量,这一特性在光学相干断层扫描(OCT)的医学成像中得到了利用,OCT正是利用了这一物理原理。VirtualLab Fusion在单个平台上的各种可交互建模技术有助于对相干现象进行高效建模。在这个例子中,构造了一个带有氙灯的迈克尔逊干涉仪,并用于测量具有平滑调制表面的样品。 s-*8= ,UH`l./3DX
ib/&8)Y+J pOlQOdl 建模任务 k,X` }AJ6 e_\4(4x +@usJkxul 模拟与设置:单平台交互操作 |+x;18 ]*sXISg1 建模技术的单平台交互操作 Ij@YOt |+cyb<(V J
+]`MdOu 6H.D`"cj 连接建模技术:光源 Z;7f
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JV(|7Sk hgfCM 带样本的镜子:采样界面 5~aSkg,MD `|
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/DQoM@X 连接建模技术:参考镜子 z"=#<C ?9OiF-:n
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m~(]\ wu/]M~XwI 模拟结果 ~ NKw}6 模拟干扰条纹 A^bg*t, tm#T8iF
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