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摘要 -}u=tiNG f}JiYZ
Zl5cHejM `0.< 双螺旋(DH) PSF工程在纵向上为三维成像提供了高分辨率,它可以通过在光瞳平面上增加一个带有漩涡的相位掩膜来产生[Ginni Grover等,Opt. Exp. 2012]。VirtualLab Fusion提供了一种快速方便的方法来计算高NA显微镜系统小离焦的DH PSFs。这个用例说明了DH-PSFs在离焦约130nm时有明显的变化。 ~)\9f 1O{^ {tUjUwhz( 建模任务 #wXq'yi `mar-r_m
'R&Y pR kvWP[! j?) 在VirtualLab Fusion中构建系统 0p"l}Fu@` : +Na8\d 系统构建块 L *a:j xq`mo
T r|B:)X ]ow$VF{y 元件解算器 42* y27Dtm BHoy:Tp
O$F<x, Y?ADM(j 利用光线追迹进行几何光学仿真 x*]&Ca0+ z+ch-L^K4 结果:几何光线追迹 =:)p\{B v2OK/W,0
W7bA#p( b.h:~ATgN 利用场追迹进行物理光学仿真 8|Wu8z-- Lp!4X1/|\ 不同离焦像面的双螺旋PSF )qDCh %sd1`1In
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