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摘要 }Vw"7 clQN@1] M
ugg08 am! 9)p VDS 双螺旋(DH) PSF工程在纵向上为三维成像提供了高分辨率,它可以通过在光瞳平面上增加一个带有漩涡的相位掩膜来产生[Ginni Grover等,Opt. Exp. 2012]。VirtualLab Fusion提供了一种快速方便的方法来计算高NA显微镜系统小离焦的DH PSFs。这个用例说明了DH-PSFs在离焦约130nm时有明显的变化。 |$`LsA. \D BtU7"v 建模任务 _yTGv- =iy%;>I`
t?9F2rh =!_e(J 在VirtualLab Fusion中构建系统 ^JF6L`Tp oB8u[! 系统构建块 ZK))91;v +*[lp@zU{
q4$zsw z.{T`Pn 元件解算器 t&(}`W EzK,SN#
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P6X D0,U2d 利用光线追迹进行几何光学仿真 xZt] s3? )sG`sET]`f 结果:几何光线追迹 hKb-l`KO l>)0OP]
-~eNC^t;W j{EN % 利用场追迹进行物理光学仿真 uW!',"0ER y yfm 不同离焦像面的双螺旋PSF agX-V{l. > Zo_-,
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