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摘要 $0[T=9q <+ ;U6z|O7L
:Gyv%>. e<_p\LiOS 双螺旋(DH) PSF工程在纵向上为三维成像提供了高分辨率,它可以通过在光瞳平面上增加一个带有漩涡的相位掩膜来产生[Ginni Grover等,Opt. Exp. 2012]。VirtualLab Fusion提供了一种快速方便的方法来计算高NA显微镜系统小离焦的DH PSFs。这个用例说明了DH-PSFs在离焦约130nm时有明显的变化。 pgK) mz\d>0F U. 建模任务 ^MPl
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U0}]3a0 8 Zy`Z 在VirtualLab Fusion中构建系统 u@v0I$ 5;=,BWU 系统构建块 )L?JH?$C F?]nPb|
t\2Lo7[Pu {}ks[%,_\ 元件解算器 HbWl:y U $j(2M?.>#
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利用光线追迹进行几何光学仿真 3cK`RM ` [([?+Ouy 结果:几何光线追迹 Pyc/6~? eJ0PSW/4l
yQ)y#5/<6 `.PZx%= 利用场追迹进行物理光学仿真 *Q bPz4," zItf>j7|Z 不同离焦像面的双螺旋PSF T9enyYt% a%Ky;ys
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