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摘要 cgb>Naa< r[L.TX3Ah=
d0aXA+S% A!lZyG!3 双螺旋(DH) PSF工程在纵向上为三维成像提供了高分辨率,它可以通过在光瞳平面上增加一个带有漩涡的相位掩膜来产生[Ginni Grover等,Opt. Exp. 2012]。VirtualLab Fusion提供了一种快速方便的方法来计算高NA显微镜系统小离焦的DH PSFs。这个用例说明了DH-PSFs在离焦约130nm时有明显的变化。 ^j<v~GTx+ 7hk)I`o65 建模任务 v
vErzUxN pv]@}+<Dt
xs"i_se t!?`2Z5 在VirtualLab Fusion中构建系统 kF|$oBQ Px_8lB/; 系统构建块 Ng#psN IK -vcG
Ic/hVKYG5 j\uZo.Ot+ 元件解算器 F-;J N ?@"@9na
i2qN 0?n YgEd%Z%4 利用光线追迹进行几何光学仿真 gfL :SP8 k\OZ'dS 结果:几何光线追迹 JU8}TX $JFjR@j
o]?
yyP Q7+WV`& 利用场追迹进行物理光学仿真 3!P^?[p3 ktU:Uq 不同离焦像面的双螺旋PSF Zo=,!@q( MfQ0O?oBp
uz3cho' 0AnL]`"t.3
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