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    [技术]JCMSuite应用:光场通过六方晶胞的近场分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-08-08
    这是一个简单的二维光栅的例子,具有双重周期(六方)晶格。三维单元晶胞在x和y平面上是周期性的。它包含两个不同的菱形(平行六面体),位于衬底上,被背景材料包围。我们选择了一个直角线单元晶胞(最小原始单元格)来避免结构的计算域边界的不利切割。案例中的材料选择为铬(菱形),玻璃(基底)和空气(背景材料)。 p8s%bPjK  
    e7Gb7c~  
    光栅被S和P偏振平面波照亮。JCMsuite计算近场分布。下图显示了当波长为193nm时,平面波从衬底侧垂直入射到结构内的近场强度 RAEN  &M  
    S偏振光照明的场矢量 us8ce+  
    G'HLnx}Yi  
    P偏振光照明的场矢量 (7~vOWs:[  
    后处理傅里叶变换计算透射衍射级次的振幅。 Iw$T'I+4W  
     
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