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《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(第二版 精装) C K#^`w F9ytU> zh 内容简介 !wbO:py[8> Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 I/2{I 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 rra|}l4Y 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 f.yvKi.Cm F,dPmR ]>vC.iYp
pc/x&VY% 目录 !uZ)0R Preface 1 ^(+ X|t 内容简介 2 cn~/P|B[ 目录 i DT;n)7+, 1 引言 1 k|hy_? * 2 光学薄膜基础 2 NL^;C3u 2.1 一般规则 2 (YV]T!q 2.2 正交入射规则 3
Vs1H)T% 2.3 斜入射规则 6 hwx1 fpo4 2.4 精确计算 7 X%C`('"R 2.5 相干性 8 8'>yB 2.6 参考文献 10 /Fr*k5I 3 Essential Macleod的快速预览 10 PF+ F^;C 4 Essential Macleod的特点 32 B~ ?R 6 4.1 容量和局限性 33 j.]ln}b/'+ 4.2 程序在哪里? 33 #]rfKHW9 4.3 数据文件 35 XWq`MwC9 4.4 设计规则 35 pyw]ydB 4.5 材料数据库和资料库 37 'G1~
A + 4.5.1材料损失 38 wiFA3_\G 4.5.1材料数据库和导入材料 39 +X%pUe 4.5.2 材料库 41 MZrLLnl6\ 4.5.3导出材料数据 43 "cZ ){w 4.6 常用单位 43 9kzJ5} 4.7 插值和外推法 46 ?]%ZJd 4.8 材料数据的平滑 50 g+j\wvx0 4.9 更多光学常数模型 54 1b=,lm 4.10 文档的一般编辑规则 55 .DR*MQI9 4.11 撤销和重做 56 ' Ig:- 4.12 设计文档 57 P7 h^!a/ 4.10.1 公式 58 mI,a2wqi 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 FfRvi8 4.10.3 沉积密度 59 " k0gZb 4.10.4 平行和楔形介质 60 #Zg pm"MW 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 r1&eA% eh 4.10.4 性能 61 og?L 9 4.10.5 保存设计和性能 64 g#iRkz%l)& 4.10.6 默认设计 64 h.pVIO` 4.11 图表 64 u0Bz]Ux/Q 4.11.1 合并曲线图 67 5(>ux@[qI: 4.11.2 自适应绘制 68 5E#8F 4.11.3 动态绘图 68 %N#A1 4.11.4 3D绘图 69 Eo`'6
3 4.12 导入和导出 73 rDWwu' 4.12.1 剪贴板 73 &s8vmUt 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 03n+kh 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 g8R@ol0 4.13 背景 77 \IhHbcF`d 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 +<T361eyY 4.15 生成Rugate 84 oe*fgk/o9 4.16 参考文献 91 F Jp<J 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 b:PzqMh{G 5.1 Jobs 92 kr\#CW0? 5.2 创建一个新Job(工作) 93 6{w'q&LYcE 5.3 输入材料 94 jA? 7>"| 5.4 设计数据文件夹 95 Ub{7 Xk
n 5.5 默认设计 95 _oHxpeM 6 细化和合成 97 sB*!Nf^y 6.1 优化介绍 97 5FVmk5z]d 6.2 细化 (Refinement) 98 cte
Wl/v 6.3 合成 (Synthesis) 100 58t_j54 6.4 目标和评价函数 101 g;7W%v5wqk 6.4.1 目标输入 102 *EPJeblAV 6.4.2 目标 103 -C2[ZP- 6.4.3 特殊的评价函数 104 z.!u<hy( 6.5 层锁定和连接 104 8{
+KNqz 6.6 细化技术 104 %KPQ|^WE 6.6.1 单纯形 105 3F8KF`* 6.6.1.1 单纯形参数 106 }ww`Y 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 ><C9PS@ 6.6.2.1 Optimac参数 108 3T
/_#=9TV 6.6.3 模拟退火算法 109 E&ReQgBft 6.6.3.1 模拟退火参数 109 mLV0J ' 6.6.4 共轭梯度 111 q26qY5D 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 NE><(02qW 6.6.5 拟牛顿法 112 Eb8~i_B- 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 !TN)6e7`
6.6.6 针合成 113 Ekn3ODz, 6.6.6.1 针合成参数 114 "[sr0'g: 6.6.7 差分进化 114 sVH
w\_F$ 6.6.8非局部细化 115 6H!l>@a7v 6.6.8.1非局部细化参数 115 @zJiR{Je-U 6.7 我应该使用哪种技术? 116 hT%
>)71 6.7.1 细化 116 Z6nQW53- 6.7.2 合成 117 g77 :92 6.8 参考文献 117 <r)5jf 7 导纳图及其他工具 118 ctPT=i60 7.1 简介 118 g)}q3-<AK> 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 It]GlxMX 7.2.1 四分之一波长规则 119 `[h&Q0Du6 7.2.2 导纳图 120 RJ-J/NhWyI 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 iGBHlw;A 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 L=5Y^f'aU 7.5 斜入射导纳图 141 BO+to. 7.6 对称周期 141 %"e hZd0r 7.7 参考文献 142 }%c0EY' 8 典型的镀膜实例 143 5'[yw:P-8 8.1 单层抗反射薄膜 145 4m%Yck{R 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 {rzQ[_)EC 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 @o&UF-=MW( 8.4 W-膜层 148 KvjH\;78 8.5 V-膜层 149 59(kk; 8.6 V-膜层高折射基底 150 zhh6;>P 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 _y:aPn 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 <.ZD.u 8.9 四层抗反射薄膜 153 p::`1 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 uM[[skc 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 !>WW(n07Ma 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 )h,}v()qc# 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 L?(m5u~b 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 u}7r\MnwK, 8.15十五层宽带抗反射膜 159 >}r
1A 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 N.vkM`Z 8.17 1/4波长堆栈 162 R8|FqBs
8.18 陷波滤波器 163 \*#E4`Y 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 p3B_NsXVZ 8.20 褶皱 165 qxHsmGV 8.21 消偏振分光器1 169 y(j vl|z[ 8.22 消偏振分光器2 171 <U}25AR 8.23 消偏振立体分光器 172 :eBp`dmn 8.24 消偏振截止滤光片 173 LbnF8tj}h 8.25 立体偏振分束器1 174 ~g *`E!2 8.26 立方偏振分束器2 177 3=_to7] 8.27 相位延迟器 178 .p'\@@o5 8.28 红外截止器 179 R4XcWx*pQ 8.29 21层长波带通滤波器 180 7H. HiyppW 8.30 49层长波带通滤波器 181 E6xWo)`%5s 8.31 55层短波带通滤波器 182 N8Un42 8.32 47 红外截止器 183 h[]3# 8.33 宽带通滤波器 184 !6_tdZ 8.34 诱导透射滤波器 186 _mDvRFq 8.35 诱导透射滤波器2 188 OKCX>'j:S 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 /?C6oj1 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 KvEZbf3f 8.35 增益平坦滤波器 193 Jh%k:TrBm 8.38 啁啾反射镜 1 196 h}%yG{'/M= 8.39 啁啾反射镜2 198 wtQ (R4 8.40 啁啾反射镜3 199 `4"&_ltD 8.41 带保护层的铝膜层 200 tmC9p6% 8.42 增加铝反射率膜 201 {6*{P!H 8.43 参考文献 202 :LB< z#M 9 多层膜 204 |bmc6G[ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 mh~n#bah 9.2 内部透过率 204 #~ [mn_C 9.3 内部透射率数据 205 hF-X8$[ 9.4 实例 206 q?oJ=]m" 9.5 实例2 210 |9
4xRC 9.6 圆锥和带宽计算 212 N-GQ\& 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 ]GPUL>7 10 光学薄膜的颜色 216 (ZEDDV2 10.1 导言 216 m} nA-* 10.2 色彩 216 )h(yh50
B 10.3 主波长和纯度 220 4JjO.H 10.4 色相和纯度 221 zyFbu=d|O: 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 ,lw<dB@7"5 10.6 色差 226 ^i~'aq 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 rVx?Yo1F' 10.8 颜色渲染指数 234 *!+?%e{;b 10.9 色差计算 235 _xXDvBU 10.10 参考文献 236 %i`YJ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 ^
P=CoLFa 11.1 短脉冲 238 LL=nMoS 11.2 群速度 239 ACxjY2 11.3 群速度色散 241 R P6R1iN3 11.4 啁啾(chirped) 245 610hw376B 11.5 光学薄膜—相变 245 "G!V?~; 11.6 群延迟和延迟色散 246 agW#"9]WM 11.7 色度色散 246 ]6EXaf# 11.8 色散补偿 249 Ci^tP~)&" 11.9 空间光线偏移 256 '^.}5be& 11.10 参考文献 258 c95{Xy 12 公差与误差 260 lr@H4EJ{ 12.1 蒙特卡罗模型 260 8fs::}0 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 GGchNt 12.2.1 误差工具 267 6995r% 12.2.2 灵敏度工具 271 u<{uUui}$v 12.2.2.1 独立灵敏度 271 %O3 r>o= 12.2.2.2 灵敏度分布 275 o*WI*Fb' 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 qbe9 CF'@_ 12.3 参考文献 276 ni x1_Wo; 13 Runsheet 与Simulator 277 \muC_9ke 13.1 原理介绍 277 >P\/\xL= 13.2 截止滤光片设计 277 EJ3R{^ 14 光学常数提取 289 !ZlNPPrq} 14.1 介绍 289 FqK2[]8 14.2 电介质薄膜 289 c\pPwG 14.3 n 和k 的提取工具 295 .EUOKPK4W 14.4 基底的参数提取 302 v><uHjP 14.5 金属的参数提取 306 ua
vv 14.6 不正确的模型 306 .J3Dk=/ 14.7 参考文献 311 h47l;`kD-# 15 反演工程 313 x?| 15.1 随机性和系统性 313 7|Tu@0XXA 15.2 常见的系统性问题 314 yjP;o`z% 15.3 单层膜 314 W:16qbK 15.4 多层膜 314 u)fmXoQ 15.5 含义 319 e
RjpR?!\ 15.6 反演工程实例 319 W=EvEx^?% 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 ul$YV9[\ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 ]n:)W.|`R 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 DOm5 azO!> 16.1 光学性质的热致偏移 329 V OViOD 16.2 应力工具 335 ~IKPi==@, 16.3 均匀性误差 339 hOSkxdi*^ 16.3.1 圆锥工具 339 K}U}h>N 16.3.2 波前问题 341 nUvxO `2 16.4 参考文献 343 @"#W\m8 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 UC34AKm 17.1 引言 345 x1kb]0s<- 17.2 操作数 345 oA&V,r 18 如何在Function中编写脚本 351 BZE~k?* 18.1 简介 351 YFCP'J"Z 18.2 什么是脚本? 351 &` u<KKF6 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 U/oncC5 18.4 基础 352 rsR0V+(W 18.4.1 Classes(类别) 352 b!ZXQn3X< 18.4.2 对象 352 98os4}r 18.4.3 信息(Messages) 352 r^k:$wJbRK 18.4.4 属性 352 ~o+HAc`=v 18.4.5 方法 353 8]N+V: 18.4.6 变量声明 353 G8lR_gD"! 18.5 创建对象 354 T}X#I'Z 18.5.1 创建对象函数 355 B;?"R 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 3~4e\xL 18.5.3 丢弃对象 356 n@xDFa 18.5.4 总结 356 wNW9xmS 18.6 脚本中的表格 357 i(JBBE" 18.6.1 方法1 357 z2&SZ.mk 18.6.2 方法2 357 RTNUHz;{L 18.7 2D Plots in Scripts 358 cRX0i;zag 18.8 3D Plots in Scripts 359 z1ltc{~Z 18.9 注释 360 pCNihZ~ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 )dJaF#6j 18.11 一个更高级的脚本 362 Qc z7IA 18.12 <esc>键 364 ++:v O 18.13 包含文件 365 '@u/] ra: 18.14 脚本被优化调用 366
tqE LF 18.15 脚本中的对话框 368 V$+xJ m 18.15.1 介绍 368 })|+tZ 18.15.2 消息框-MsgBox 368 |Q^ZI 18.15.3 输入框函数 370 +'?p $@d 18.15.4 自定义对话框 371 XGEAcN 18.15.5 对话框编辑器 371 Nf>1`eP 18.15.6 控制对话框 377 `av8|; 18.15.7 更高级的对话框 380 R R><so% 18.16 Types语句 384 m El*{] 18.17 打开文件 385 Z
xLjh 18.18 Bags 387 d(w
$! $"h 18.13 进一步研究 388 Rv6{'\: 19 vStack 389 >'/G:\M>A 19.1 vStack基本原理 389 WJZW5
Xt 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 AU}P`fT! 19.3 五棱镜 393 3mgFouX2x, 19.4 光束距离 396 [K[tL|EK 19.5 误差 399 bh?Vufd%) 19.6 二向分色棱镜 399 A8hj"V47 19.7 偏振泄漏 404 pFGK-J 19.8 波前误差—相位 405 TdP_L/>|J 19.9 其它计算参数 405 phUno2fH 20 报表生成器 406 _$By c(.c 20.1 入门 406 -@G|i$! 20.2 指令(Instructions) 406 _n2PoE:5@P 20.3 页面布局指令 406
= Ow}MX 20.4 常见的参数图和三维图 407 3Qe:d_ 20.5 表格中的常见参数 408 Bm%:Qc* 20.6 迭代指令 408 YcGSZ0vQ 20.7 报表模版 408 pK4I?=A' 20.8 开始设计一个报表模版 409 d5]9FIj 21 一个新的project 413 0X -u'=Bs 21.1 创建一个新Job 414 <FMW%4 21.2 默认设计 415 [bJ/$A 21.3 薄膜设计 416 tuK"}HepB 21.4 误差的灵敏度计算 420 tOwwgf 21.5 显色指数计算 422 )__vPPko i 21.6 电场分布 424 UKQ,]VC 后记 426 s'ntf ,Z#t-? 价格:598元有兴趣可以扫码加微咨询 /Yc!m$uCW 31wact^ 书籍名称:《Essential Macleod中文手册》
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w @cAv X\hD4r"
目 录 rOB-2@- 8^$}!9B~JZ ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析 9IMtqL& 第1章 介绍 ..........................................................1 a|32Pn 第2章 软件安装 ..................................................... 3 Wk'KN o 第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6 XY1NTo.= 第4章 软件中的约定 ......................................................... 17 O:RPH{D 第5章 软件结构 ............................................................... 21 >f19P+ 第6章 应用窗口 ................................................................. 44 75@){ : 第7章 设计窗口 .................................................................. 62 4CS9vv)9R 第8章 图形窗口 .................................................................. 100 "4H&wHhT! 第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106 ,$mnD@) 第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111 2<yi8O\ 第11章 表格窗口 ................................................................. 116 Dz]&|5'N 第12章 优化和综合 ..................................................................120 ,2[laJ 第13章 材料管理 ........................................................................ 149 }-)2CEj3L% 第14章 多层膜 ........................................................................... 167 WDSkk"#TF 第15章 分析和设计工具 ........................................................180 zVZZdG~8 第16章 逆向工程 ................................................................ 200 b3MgJT"mN 第17章 报告生成器 ............................................................. 208 >yg mE`g 第18章 堆栈 ......................................................................... 213 AASw^A3p 第19章 功能扩展 .................................................................. 229 ,!|/|4vh 第20章 运行表单 .................................................................... 251 g[44YrRD 第21章 模拟器 ...................................................................... 271 II)\rVP5 第22章 DWDM助手 ............................................................. 284 -$?xR]( f 第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289 U'UV=:/- 第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297 ^T)HRT-k 第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301 3)zanoYHi 第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307 .Frc:Y{ 第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311 .Hl]xI$;+ 第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312 (X,Ua+{ 第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316 +e`f|OQ F5gL-\6 价 格:400元
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