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    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 先进光刻机曝光系统光学设计 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
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    [产品]配置文件编辑工具：速度与精度 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-04
    摘要 I!9>"s12  
    XHKLl?-  
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    qHyOaK Md  
    VirtualLab Fusion提供了便捷的工具，可以配置包括许多表面和组件的复杂光学系统的基本仿真选项，只需单击几下即可。其中一个工具是Speed vs. Accuracy配置文件编辑工具，用于定制光场数据采样的设置，在光通过光学系统传播过程中使用     f9Xa}*  
    6+ptL-Zt<  
    配置文件编辑和运行功能区 1~E4]Ef:W  
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    速度与精度 - 工具 h\Y~sm?!`  
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    u^]Gc p  
    奈奎斯特周期评估精度等级 vNdX  
    VFnxj52<  
     nB :iG  
    2{ l|<'  
    场尺寸估计的功率部分 !h}Vz  
     ,+OVRc  
    为了估算一个场所需的采样（例如在空间域中），将提取一系列的1D切线数据，并使用傅立叶变换将其转换为K域。基于这些信息，VirtualLab考虑了用于场尺寸估计的功率部分的配置值。计算出k域中所需的场大小。由于傅立叶变换的特征，在空间域中可以获得必要的采样距离(反之亦然，也适用于k域中给定的数据)。 kt_O=  
    !U2<\!_  
    99'c\[fd'  
     Ywt9^M|z;  
    无网格采样因子 ?kV_!2U)'K  
    ,+v(?5[6  
     KkzG#'I1  
    \0;w7tdo  
    无网格采样因子 v&9:Wd*Iz'  
     "9Q_lVI|Q  
    对于带有圆形孔径的光源的示例，包含场信息的无网格采样使用六边形模式，可以调整其密度： s{X+0_@Q  
    &jg>X+;  
     #^|2PFh5  
    OU]"uV<(  
    其他全局采样选项（用于网格化数据） =1!.g"0  
    !,b&e  
     q`z1ht nf  
     
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