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1.建模任务 /pkN=OBR G0m$bi=z 这个案例将演示设计与分析一个折射率调制的扩散器图层以生成Top Hat图案。
6p@[U>` 设计包括两个步骤: 4pMp@b - 设计相位函数来生成一个角谱Top Hat分布。 0'f\>4B - 基于相位调制来计算对应的折射率调制。 S]=.p-Am 如果想要更详细的解释设计和分析步骤,请参见教程Tut565。 I*j~5fsS' a~@f,bw Y5 ;a 照明光束参数 )?OdD7gd ,d*1|oUw :~R a} 波长:632.8nm uX!6:v] 激光光束直径(1/e2):700um ]#DCO8Vk qi~-<qW 理想输出场参数 Lj|wFV EdqB4-#7 Uc_}=" _'Jjt9@S 直径:1° 4$, W\d 分辨率:≤0.03° $bp$[fX(e 效率:>70% 8ZbXGQ 杂散光:<20% F0&ubspt |