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不同类型的波前像差对焦点上的特征有单独的影响。因此,能够详细研究这些影响是至关重要的,例如,评估成像系统的性能。在VirtualLab Fusion中,可以产生不同的波前像差,并方便地研究其对焦斑分布的影响。作为例子,我们选择了几个典型的像差(球面、彗差、像散、……),改变它们的数值,并计算相应的焦点分布。 HXD*zv@ *6 R4&|t 设计和建模任务 y%{*uH}SL Z}sG3p
E}xz7u R88(dEK 导入现有结构文件 kHt!S9r f?/|;Zo4 >P<k[vF 平面波 +O;OSZ 波长(486,587,656)nm 1<XiD3H; 视场角(40°) w/lXZg x方向线偏振光
Hv[d<ylO ;FV~q{ :6 Hxxh 衍射透镜 ;J,,f1Vw 波前相位相应 O!#L#u53 真实衍射器件结构 dAu^{1+2 30sC4}
aX>4Tw mp&Le YYn 离焦 sh',"S#=@ GCf._8;%
#Pb7EL#c 3Ew"[FUs 球差 xHM&csL ?c|`R1D
gE-w]/1zD5 "@c';".| 像散 ]ro1{wm!WU oyKt({
j6&zRFX 902!M65[rG 彗差 *@\?}cX .LeF|EQU\@
9,iq"dQ wu&|~@_s@ 二阶彗差 s8f3i\1 &J5-'{U|0
y]z)jqX< dVj' 三叶草像差 o+if%3 ,p[\fT($]
!T#8N7J> S`GXiwk VirtualLab Fusion 技术 %#S "~) h+zkVRyA
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