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不同类型的波前像差对焦点上的特征有单独的影响。因此,能够详细研究这些影响是至关重要的,例如,评估成像系统的性能。在VirtualLab Fusion中,可以产生不同的波前像差,并方便地研究其对焦斑分布的影响。作为例子,我们选择了几个典型的像差(球面、彗差、像散、……),改变它们的数值,并计算相应的焦点分布。 fW{(lPx EuEZ D+ 设计和建模任务 Z_LFIz*c n7zm>&
4zXFuTr($ 4.k0< 导入现有结构文件 /fKx}}g) C/q'=:H; &xU[E!2H% 平面波 b(,M1.[qt 波长(486,587,656)nm a4mn*, 视场角(40°) U'k*_g x方向线偏振光 J!AgBF N4 RF`.xQ26= 9)h"-H;5: 衍射透镜 w x]0p 波前相位相应 4n#M 真实衍射器件结构 +G$4pt|= |h KDvH
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b10cuy|a/X w0[6t#$F 二阶彗差 N,<uf@LQ h!M
9#23FK 3RigzT3 三叶草像差 GiJ *Wp L\37xJo
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