切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 《杂散光抑制与评估技术》 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 光学设计与光学元件
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 先进光刻机曝光系统光学设计 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 1175阅读
    • 0回复

    [技术]离轴高数值孔径抛物面反射镜的聚焦 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    7377
    光币
    31026
    光券
    0
    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-02-28
    成像系统＞高级PSF&MTF \]S)PDqR  
    K 4{[s z  
    任务/系统描述     <5h}\5#<j  
    c@j3L23B  
    N>sHT =_  
     tm_\(  
    亮点 *rV{(%\m  
    G#E8xA"{/  
     HuN_$aP  
    ,Vz-w;oDn  
     在高数值孔径光学系统中，对PSF进行高速模拟，其中包含偏振效应 tpgD{BY^wJ  
     完全矢量分析（比如对EZ进行计算） \,!Qo*vj  
     l Yj$ 3  
    说明：光源 +*e Vi3  
    Dj0D.}`~  
    [8acan+ 2l  
     .i#'IS0c  
    说明：离轴抛物面反射镜 %hz5)  
    d@Wze[M?0  
    &v:[+zw  
     mMCd   
    说明：探测器 @j(2tJ,w  
    G6\`Iy68/v  
     ClPE_Cfw~  
    9R[P pE''  
    结果：3D光线追迹 \r3SvBwhFv  
    q$<VLrx  
     }/L#<n`Z  
    I&% Z*H  
    结果：完全矢量光场评价 g6?5  
     D'UIxc8  
    由于使用高数值孔径聚焦，初始微不足道的场分量有很大的占比。 +7y#c20  
    L/N%ft]!T  
    nHLMF7\  
     Q>G% *?  
    仿真时间：~5秒 JE eXoGKd  
    )]zsAw`/  
     [[ll4|  
    nM!_C-yX  
    结果：PSF计算 jZe/h#J)[  
    偏振：x方向（0°） r#J_;P{U  
    ' 'p<C)Q  
    Fc^!="H  
    /%b nG(4  
     !2.eJ)G  
    DX/oHkLD'  
    结果：PSF计算 }:]CXrdg>  
    偏振：x方向（45°） b4(,ls  
    -6e^`c6{  
    @J'tPW<$  
    rG%8ugap  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表