[技术]纳米柱阵列超颖表面构建模块的严格分析 [复制链接]

利用先进的制造技术，人们成功实现了具有高数值孔径的可见波长的超透镜。通常使用空间变化的纳米结构作为模块来构建超透镜。在这个例子中分析了用于组成偏振不敏感超透镜的纳米柱状结构。利用傅立叶模态方法（FMM，也称为RCWA），严格计算这种纳米柱的振幅和相位传输。 X.#)CB0c1Q  
h='F,r5#2  
4A6Yl6\Y
 
-X71JU  
建模任务 Pal=I)  
Be=rBrI>  
7oWMjw\  
f+Sb>$  
纳米柱分析vs柱子直径 }&t>j[  
dWPQp*f2  
&8z<~q  
"GZieI D  
纳米柱分析vs柱子直径 2h'Wu qO  
Iz5NA0[=2  
\7uM5 k}l  
{VL@U$'oI  
附录：TiO2的折射率 > 'hM"4f  
EP 4]#]5  
~?AEtl#&"  
%^pi  
图表来源于R. C. Devlin, M. Khorasaninejad, W.-T. Chen, J. Oh, F. Capasso, arXiv:1603.02735 (2016) r~lZ8$KC  
     *L$2M?xkY  
VirtualLab Fusion视图 b1.*cIv}  
8~]D!c8;a  
B-R#?Xn:!I  
U
nF8#~  
VirtualLab Fusion工作流程 Y8\P"qb  
$+!dP{  
 构造光栅结构 @)?]u U"L  
{K]5[bMT  
\A"o[A2v  
     &(rWl`eTY`  
 分析光栅衍射效率 La;GS  
BVNW1<_:  
     zKO7`.*  
 使用参数运行检查特定参数的影响 hTr5Q33y>  
iqQT ^  
     o)AwM"  
VirtualLab Fusion技术 /i'078F  
d]pb1EC
uu  
/Vn>(;lo