A^aY-V 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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(H:c80/V ]j0+4w 设计任务 GkOk.9Y,5 |>}CoR7
co,0@.i cK|Uwzifd @.sn 光栅特性与参数的严格分析 !$n@:W/ FKL4`GEm 不同光栅周期的衍射效率 ]2u
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aH;AGbp ;[o:VuTs 考虑光栅周期的选择 '$,yV f ET^?>YsA
/BgXY}JC. 偏振相关衍射特性 4lPO*:/ Zwq\m.h
,LZA\XC W(s5mX,Kv 偏振相关衍射特性 3^KR{N p XrUI[ryE
bR3Crz(9G p+b/k2Q 偏振相关衍射特性 hV $Zr4' l|+$4 Nb2
_L=-z*a\ ;):;H?WS|A 基于参数优化的光栅设计 a)lCp `BZ|[
q3 具有固定周期的二维参数优化 HB#!Dv&'
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1E$\&*( 二维参数优化 - 设计#1 =WUNBav T}J)n5U}\
pcv\|)&} ,$!F,c 二维参数优化 - 设计#2 7x.j:{2 n-K/dI
4Kt0}W H6Zo|n 制造公差分析 - 设计#2 Fr50hrtkU XRV~yBIS
KHP/Y{mH PP!/WX 不同光栅周期的
三维参数优化
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Wlg 1t~1= }#tbK 2[ 制造公差分析 +PBl3 1
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