[技术]高衍射效率的偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

30g-J(Zg  
光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 n_sCZ6uXEQ  
=dUeQ?>t=  
hT9
fqH  
     # 9Z];
<g  
设计任务 2J9_(w  
X'e@(I!0  
PoY+Y3  
     i3s-l8\\z  
     bl(rCbj(w  
光栅特性与参数的严格分析 $/nU0W  
}
'a}s0h  
不同光栅周期的衍射效率 Zz=+?L  
j*<H18^G  
cF3V{b|bU  
     5E?{>1  
考虑光栅周期的选择 dGf{d7D  
zn&NLsA  
B@G'6 ?  
偏振相关衍射特性 5Y)*-JY1g  
K+TRt"W8&s  
6<.Ma7)lA  
7qq}wR]]  
偏振相关衍射特性 { :'#Ts<  
Wcl@H @  
`] ;*k2  
^tIs57!  
偏振相关衍射特性 p ElF,Y  
U-#wFc2N  
q>X#Aaib  
     6pM[.:TM   
基于参数优化的光栅设计 ,*%%BTnR  
y|Tb&XPD  
具有固定周期的二维参数优化
Zm!T4pL  
l4u_Z:<w  
*KN'0Z@W  
二维参数优化 - 设计＃1 |E&a3TQW  
.&=nP?ZPC6  
x6\EU=
,  
     Zsc710_  
二维参数优化 - 设计＃2 puA~}6C  
g"c\ouSY  
uV`r_P  
     v^0D  
制造公差分析 - 设计＃2 f/&gR5  
`WGT`A"  
[U.3rcT"N  
     o(Yfnnuy  
不同光栅周期的三维参数优化 d}j%.JJK  
w2_$>z  
cm@q{(r  
<R582$( I  
制造公差分析 #mLF6"A  
d5T M_C  
'`&gSL.1a@  
{DJ!T  
走进VirtualLab Fusion   {.qeVE{  
rg64f'+Eug  
K?o( zh;  
     '!^5GSP3&  
VirtualLab Fusion 工作流程 A-x; ai]  
^0py  
uOUgU$%zqH  
     _[u&
}i  
VirtualLab Fusion技术 g|ewc'y  
35;|r