[技术]高衍射效率的偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

S4 s#EDs  
光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ;G*)7fi  
Y9B"yV  
A
m#Pa,g  
     .$ HE  
设计任务 Xl E0oN~{  
x}#N?d
  
5X:3'
*  
     |?ZNGPt  
     Xi!e=5&Pa  
光栅特性与参数的严格分析 u"DE?  
@su!9]o  
不同光栅周期的衍射效率 @6H7  
*C.Kdf3w  
HP:[aR!2P  
     rGay~\  
考虑光栅周期的选择 #j"GS/y"  
Nwk^r75lq  
\og2\Oh&gH  
偏振相关衍射特性 8qoA5fW>  
877Kv);  
T/jxsIt3  
 I^G6aw  
偏振相关衍射特性 %I@vMs^  
ul!q)cPb{  
\!IEZ  
o 80x@ &A:  
偏振相关衍射特性 -0<ZN(?|  
l/A!ofc#)  
3!i{4/  
     <|hrmwk|  
基于参数优化的光栅设计 ^grDP*;W  
2%)~E50U  
具有固定周期的二维参数优化 DH:9iX'  
gwFW+*h  
:c(#03w*C  
二维参数优化 - 设计＃1 fr&p0)85>B  
;

Pvnhy  
A:5P  
     \p!m/2  
二维参数优化 - 设计＃2 <]*Jhnx/  
E CPSE{  
ZHCrKp  
     CiTWjE?|7  
制造公差分析 - 设计＃2 (N5"'`NZA  
!
p_l(@f  
^!x qOp!  
     |7!Bk$(vA  
不同光栅周期的三维参数优化 =>7czw:S1  
.`oKd@I*"  
TV}=$\D  
Sp]ov:]%f  
制造公差分析 ::@JL  
#z}0]GJKj  
!e('T@^u6u  
/9| 2uw`  
走进VirtualLab Fusion   pqe%tRH{  
P@Vs\wAT  
kD6Iz$tr  
     bn
V)f<  
VirtualLab Fusion 工作流程 ".?y!VY  
?i}wm`  
a~zh5==QD  
     .:tR*Kst`7  
VirtualLab Fusion技术 y8]vl;88yY  
~eUv.I/