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微纳光学是当前光学学科发展最活跃的前沿之一,结合了光子学与纳米技术的前沿成果,主要优点是能在局域电磁相互作用的基础上实现许多全新的功能,成为21世纪不可或缺的关键科学和技术。微纳光学不仅是光学领域的前沿研究方向之一,也是目前新型光电子产业的重要发展方向,在光通信、光互联、光存储、传感成像、传感测量、显示、固体照明、生物医学、安全、绿色能源等领域起到不可替代的作用。在这些广泛的应用领域可以使用JCMsuite进行模拟分析与设计,大大降低时间成本和物料成本。 98O0M#|d JCMsuite是基于有限元方法(FEM)的一款纳米光学软件包。使用有限元方法(FEM)计算复杂纳米光学系统中电磁场分布,为解决科学和技术挑战提供了一种通用、严格且非常快速的方法。JCMsuite可以解决时谐麦克斯韦方程组的光散射问题、波导设计问题和光学共振问题,以及线性弹性问题、热传导问题以及这些类型的任何耦合问题。 C
0@tMB7 通过JCMsuite,用户可以定义各种材料特性,例如复杂和各向异性的材料的介电常数和磁导率张量、分散特性、导热率和刚度。软件依赖基于残差的误差估计,自动选择各种数值设置,例如有限元度和PML(完全匹配层)设置。同时也特别关注光学上所有必要的后期处理和有效计算,例如傅立叶变换、远场、能量通量、重叠积分、光学成像、共振扩展和赛尔因子。 R{N9'2l: 本书详细介绍了JCMsuite各个应用领域的实操案例。本书共十一章,分别介绍了不同应用领域的案例介绍,包含激光、掩模、散射测量、椭偏仪、光伏发电、表面等离子体、光纤、光学手性、衍射光学元件以及光子晶体。每个案例都涵盖了建模流程,从材料定义、布局定义、光源定义到项目定义整个过程,旨在帮助JCMsuite初学者通过案例快速学会软件。本书主要参考JCMwave公司发布的案例翻译整理而成。 O{@m ,uY 《JCMsuite案例指导书籍》,是由上海讯技光电工程部成员翻译整理而来,译者希望本书能对JCMsuite的使用者有所帮助,通过学习后能较好的掌握JCMsuite软件的基本使用方法。由于译者水平有限,书中错误纰漏之处,敬请同行读者批评和指正。 H&
L E3%:7MB 讯技光电科技(有限)公司 2022年2月 上海 *?dw`j_b >  ?2LRMh")$ 目录 5^:N]Mp" 1.光源部分—引言 3 ~m@v ~= 1.1垂直腔面发射激光器 3 +eT1/x0 1.2高功率二极管激光器 7 [(Jj@HlP6T 1.3量子点发射器 12 (x"TM),Q 1.3.1微米柱 12 tw{V7r~n 1.3.1.1旋转对称发射器 14 r92C^h0 1.3.2微透镜 18 #RIo63 1.3.2.1耦合至光纤 20 =gG_ %]``R 1.3.3二维模型 22 rwYlg: 2.光掩模 23 --X1oC52A 2.1衰减相移掩模 24 ea7l:(C
2.1.1降基法 26 ,AX7~;hpq 2.2独立的接触孔 33 9j6##@{ 2.3 EUV掩模 37 ;}/@ar7s3 2.4光学成像 42
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H}gvV 3.散射测量 43 >'\cNM~nf 3.1硅通孔技术 43 +*Um:}& 4.椭偏仪 48 Gn+3OI" 4.1 块状材料 48 5yC$G{yV 5.光伏发电 51 5 *w
a 5.1 薄膜太阳能电池 51 \*24NB 5.1.1薄膜太阳能电池一维模型 59 8+gti*C?\ 6.表面等离子体光学 60 gtizgUS7 6.1孤立的狭缝和凹槽 61 Tno[LP, 6.2等离子波导 66 F%<hng%k 6.3等离子纳米天线 69 +vR$% 6.3.1共振扩张 71 Xn<~ln 7.光纤 72 1K<4Kz~ 7.1单模光纤 72 ,sU#{.( 7.2折射率渐变光纤 74 Y%1J[W 7.3弯曲单模光纤 77 vO2I"Y*\ 7.4光子晶体光纤 78 qJ\tc\ 7.4.1空心光子晶体光纤 78 N9lCbtn(0x 7.4.1.1核心模式过滤 80 X^pxu6nm- 7.4.1.2扭曲式光子晶体光纤 82 ^Md]e<WAp 7.4.2多核光子晶体光纤 82 XI>|"*-l 7.4.2.1减少计算域问题 84 =v(MdjwFl 8.光学手性 85 ]yzqBbV 8.1孤立散射体 85 1O<Gg<<,e 8.2四分之一波片 88 Qf?5"=:# 9.散射光学元件 90 ,<,ige 9.1光栅 91 [#}A]1N 9.1.1线栅 92 iymOq9 9.1.2闪耀光栅 95 /~k)#44 9.1.3方形晶胞 97 }YPW@g 9.1.4六方晶胞 99 1r %~Rm 9.2孤立线栅 101 M!KHBr 9.3光阑 104 t")+L{ 9.4狭缝 106 @ P[o 9.5十字交叉结构 109 ,(%?j]_P2 9.6 纳米球 110 OI=LuWGQE1 10.硅光子 117 n9qO;X4& 10.1脊形波导 117 vSu|!Xb] 10.2环形谐振腔 119 ^iWcuh_n 10.3光子晶体谐振腔 124 < C{-ph 11.光子晶体 126 vXdz? 11.1光子晶体谐振腔 126 T2;%@Ghc 11.2光子晶体光纤 128 s|/m}n 11.3一维光子晶体 128 z0XH`H|~
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