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微纳光学是当前光学学科发展最活跃的前沿之一，结合了光子学与纳米技术的前沿成果，主要优点是能在局域电磁相互作用的基础上实现许多全新的功能，成为21世纪不可或缺的关键科学和技术。微纳光学不仅是光学领域的前沿研究方向之一，也是目前新型光电子产业的重要发展方向，在光通信、光互联、光存储、传感成像、传感测量、显示、固体照明、生物医学、安全、绿色能源等领域起到不可替代的作用。在这些广泛的应用领域可以使用JCMsuite进行模拟分析与设计，大大降低时间成本和物料成本。 ?} sOG?{ JCMsuite是基于有限元方法(FEM)的一款纳米光学软件包。使用有限元方法(FEM)计算复杂纳米光学系统中电磁场分布，为解决科学和技术挑战提供了一种通用、严格且非常快速的方法。JCMsuite可以解决时谐麦克斯韦方程组的光散射问题、波导设计问题和光学共振问题，以及线性弹性问题、热传导问题以及这些类型的任何耦合问题。 iz`jDa Q|1 通过JCMsuite，用户可以定义各种材料特性，例如复杂和各向异性的材料的介电常数和磁导率张量、分散特性、导热率和刚度。软件依赖基于残差的误差估计，自动选择各种数值设置，例如有限元度和PML(完全匹配层)设置。同时也特别关注光学上所有必要的后期处理和有效计算，例如傅立叶变换、远场、能量通量、重叠积分、光学成像、共振扩展和赛尔因子。 Yz V(nEW 本书详细介绍了JCMsuite各个应用领域的实操案例。本书共十一章，分别介绍了不同应用领域的案例介绍，包含激光、掩模、散射测量、椭偏仪、光伏发电、表面等离子体、光纤、光学手性、衍射光学元件以及光子晶体。每个案例都涵盖了建模流程，从材料定义、布局定义、光源定义到项目定义整个过程，旨在帮助JCMsuite初学者通过案例快速学会软件。本书主要参考JCMwave公司发布的案例翻译整理而成。 }1>atgq]w 《JCMsuite案例指导书籍》，是由上海讯技光电工程部成员翻译整理而来，译者希望本书能对JCMsuite的使用者有所帮助，通过学习后能较好的掌握JCMsuite软件的基本使用方法。由于译者水平有限，书中错误纰漏之处，敬请同行读者批评和指正。 e &3 #2_ I:t^S., 讯技光电科技(有限)公司 2022年2月 上海 Uu5C%9^s
目录 xIgql}.
1.光源部分—引言 3 a8JN19}D
1.1垂直腔面发射激光器 3 @^CG [:|
1.2高功率二极管激光器 7 : `J>bHE
1.3量子点发射器 12 Hs l{rN
1.3.1微米柱 12 !}q."%%J_%
1.3.1.1旋转对称发射器 14 \!w h[qEQ\
1.3.2微透镜 18 Yy@g9mi
1.3.2.1耦合至光纤 20 AgsR-" uh
1.3.3二维模型 22 A&l7d0Z^j5
2.光掩模 23 _,Q[2g Q5N
2.1衰减相移掩模 24 bp%S62Dj
2.1.1降基法 26 AbZ:(+@cP
2.2独立的接触孔 33 "Ot{^ _e
2.3 EUV掩模 37 7@P656{
2.4光学成像 42 yW> R RE;
3.散射测量 43 .)`-Hkxa
3.1硅通孔技术 43 O+FBQiv
4.椭偏仪 48 GCH[lb>IJv
4.1 块状材料 48 xjrlc9
5.光伏发电 51 _8S4Q !
5.1 薄膜太阳能电池 51 UE7'B?
5.1.1薄膜太阳能电池一维模型 59 M=+M8M`Iy
6.表面等离子体光学 60 " $=qGHA~
6.1孤立的狭缝和凹槽 61 ohplj`X[21
6.2等离子波导 66 4\1;A`2%0
6.3等离子纳米天线 69 [B,p, Q "
6.3.1共振扩张 71 b,Lw7MY}[
7.光纤 72 (H-cDsh;c
7.1单模光纤 72 {F!v+ W>
7.2折射率渐变光纤 74 Y)OBTX
7.3弯曲单模光纤 77 4W-"|Z_x
7.4光子晶体光纤 78 i;]CL[#2e`
7.4.1空心光子晶体光纤 78 8m7;x/0ld
7.4.1.1核心模式过滤 80 %
$.vOFP9
7.4.1.2扭曲式光子晶体光纤 82 >)y$mc6
7.4.2多核光子晶体光纤 82 l0#4Fma
7.4.2.1减少计算域问题 84 h--45`cE
8.光学手性 85 `Sx. |`x8
8.1孤立散射体 85 hr1$1&p
8.2四分之一波片 88 O+vcs4
9.散射光学元件 90 cz>mhD
9.1光栅 91 InN {^uN
9.1.1线栅 92 j%5a+(H,z;
9.1.2闪耀光栅 95 mQ=sNZ-d ]
9.1.3方形晶胞 97 m9Il\PoTq
9.1.4六方晶胞 99 P'F~\**5
9.2孤立线栅 101 U/ 5$%0)
9.3光阑 104 f?5A"-NS
9.4狭缝 106 e&t s\0
9.5十字交叉结构 109 7vq
DZg
9.6 纳米球 110 (GNEYf|
10.硅光子 117 _<2 RYXBC
10.1脊形波导 117 "5(W[$f*]v
10.2环形谐振腔 119
p2^)2v
10.3光子晶体谐振腔 124 g@(4ujOT
11.光子晶体 126 `fMpV8vv
11.1光子晶体谐振腔 126 94YA2_f ;
11.2光子晶体光纤 128 nqeVV&b!
11.3一维光子晶体 128 HSC6;~U
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