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微纳光学是当前光学学科发展最活跃的前沿之一,结合了光子学与纳米技术的前沿成果,主要优点是能在局域电磁相互作用的基础上实现许多全新的功能,成为21世纪不可或缺的关键科学和技术。微纳光学不仅是光学领域的前沿研究方向之一,也是目前新型光电子产业的重要发展方向,在光通信、光互联、光存储、传感成像、传感测量、显示、固体照明、生物医学、安全、绿色能源等领域起到不可替代的作用。在这些广泛的应用领域可以使用JCMsuite进行模拟分析与设计,大大降低时间成本和物料成本。 ] ;"blB JCMsuite是基于有限元方法(FEM)的一款纳米光学软件包。使用有限元方法(FEM)计算复杂纳米光学系统中电磁场分布,为解决科学和技术挑战提供了一种通用、严格且非常快速的方法。JCMsuite可以解决时谐麦克斯韦方程组的光散射问题、波导设计问题和光学共振问题,以及线性弹性问题、热传导问题以及这些类型的任何耦合问题。 _\uyS', 通过JCMsuite,用户可以定义各种材料特性,例如复杂和各向异性的材料的介电常数和磁导率张量、分散特性、导热率和刚度。软件依赖基于残差的误差估计,自动选择各种数值设置,例如有限元度和PML(完全匹配层)设置。同时也特别关注光学上所有必要的后期处理和有效计算,例如傅立叶变换、远场、能量通量、重叠积分、光学成像、共振扩展和赛尔因子。 &]~Vft
l 本书详细介绍了JCMsuite各个应用领域的实操案例。本书共十一章,分别介绍了不同应用领域的案例介绍,包含激光、掩模、散射测量、椭偏仪、光伏发电、表面等离子体、光纤、光学手性、衍射光学元件以及光子晶体。每个案例都涵盖了建模流程,从材料定义、布局定义、光源定义到项目定义整个过程,旨在帮助JCMsuite初学者通过案例快速学会软件。本书主要参考JCMwave公司发布的案例翻译整理而成。 ancs 《JCMsuite案例指导书籍》,是由上海讯技光电工程部成员翻译整理而来,译者希望本书能对JCMsuite的使用者有所帮助,通过学习后能较好的掌握JCMsuite软件的基本使用方法。由于译者水平有限,书中错误纰漏之处,敬请同行读者批评和指正。 %iMRJ}8(7 b+7!$ 讯技光电科技(有限)公司 2022年2月 上海 9O1#%  IY jt*p5 目录 KElzYZl8 1.光源部分—引言 3 csABfxib 1.1垂直腔面发射激光器 3 IWc?E 1.2高功率二极管激光器 7 M`{~AIqd( 1.3量子点发射器 12 |:Q`9; 1.3.1微米柱 12 ZxW4 i 1.3.1.1旋转对称发射器 14 Y_S>S(0 1.3.2微透镜 18 *PEk+e 1.3.2.1耦合至光纤 20 vG;)(.: 1.3.3二维模型 22 ]N<:6+ 2.光掩模 23 Y;n;7M<F 2.1衰减相移掩模 24 O{@m ,uY 2.1.1降基法 26 C5k\RS9 2.2独立的接触孔 33 l.gt+e
2.3 EUV掩模 37 Tp-<!^o4 2.4光学成像 42 ,j^z]; 3.散射测量 43 u^5X@. 3.1硅通孔技术 43 &"G4yM 4.椭偏仪 48 fjGYp 4.1 块状材料 48 dB`3"aSN7 5.光伏发电 51 H! IL5@@K 5.1 薄膜太阳能电池 51 vuP.V# 5.1.1薄膜太阳能电池一维模型 59 ZoFQJJK56B 6.表面等离子体光学 60 ~Q4 emgBD 6.1孤立的狭缝和凹槽 61 VkKq<`t< 6.2等离子波导 66 mV\QZfoF 6.3等离子纳米天线 69 #*r u* 6.3.1共振扩张 71 c^Y&4=>T 7.光纤 72 g3*" ^C2= 7.1单模光纤 72 %#g9d 7.2折射率渐变光纤 74 E}&Z=+v} 7.3弯曲单模光纤 77 T8*< 7.4光子晶体光纤 78 ;ndsq[k> 7.4.1空心光子晶体光纤 78 pyvZ[R9 7.4.1.1核心模式过滤 80 ^#:F8D 7.4.1.2扭曲式光子晶体光纤 82 n+Bh-a V 7.4.2多核光子晶体光纤 82 @t W;(8- 7.4.2.1减少计算域问题 84 KB3zQJY 8.光学手性 85 AL(YQ)-Cg 8.1孤立散射体 85 KaRdO 8.2四分之一波片 88 {Vg8pt 9.散射光学元件 90 lL6bIjf 9.1光栅 91 r@j$$Pk` 9.1.1线栅 92 n4* hQi+d 9.1.2闪耀光栅 95 P8Nzz(JF 9.1.3方形晶胞 97 8V]oR3' 9.1.4六方晶胞 99 {i}z|'! 9.2孤立线栅 101 }\p>h 9.3光阑 104 5|I2 9.4狭缝 106 vO2I"Y*\ 9.5十字交叉结构 109 qJ\tc\ 9.6 纳米球 110 N9lCbtn(0x 10.硅光子 117 Q2 tM~ 10.1脊形波导 117 Zjo8/ 10.2环形谐振腔 119 i Eh
- 10.3光子晶体谐振腔 124 ~}B6E) 11.光子晶体 126 !kzC1U 11.1光子晶体谐振腔 126 gc%aaYf> 11.2光子晶体光纤 128 ,<,ige 11.3一维光子晶体 128 oN0p$/La
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