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[求助]AU镀膜工艺 [复制链接]

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离线chenliang1990

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只看楼主倒序阅读楼主发表于: 2022-10-21

关键词：镀膜

AU镀完后再镀保护层，发现保护层掉膜，请教大神帮忙分析分析是什么问题造成的（镀膜工艺：CR+AU+AL2O3+TI3O5+SIO2）全部冷镀。

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离线xiezhizhi

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只看该作者 1楼发表于: 2022-10-22

基底是玻璃吗 +AL2O3 后加热200℃镀后面两层

离线ouyuu

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只看该作者 2楼发表于: 2022-10-29

应该是温度造成的。钛硅冷镀有应力，200度左右正好可以抵消应力。

离线镀膜小白

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只看该作者 3楼发表于: 2022-11-08

我现在也遇到这样的问题，有大佬有解决保护层脱膜问题的方案么？

离线wheo2022

助理工程师

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只看该作者 4楼发表于: 2022-11-30

请问是真空蒸镀吗？楼主后来解决了没

离线chenliang1990

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只看该作者 5楼发表于: 2023-01-07

回 ouyuu 的帖子

ouyuu:应该是温度造成的。钛硅冷镀有应力，200度左右正好可以抵消应力。 (2022-10-29 12:09) 1LvR,V<

谢谢，已经解决。

离线coldking

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只看该作者 6楼发表于: 2023-01-08

回 chenliang1990 的帖子

chenliang1990:谢谢，已经解决。 (2023-01-07 16:41) 'W("s

請問是鍍完AL2O3升溫還是全部鍍完再升溫呢

离线xiezhizhi

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只看该作者 7楼发表于: 2024-04-09

回 coldking 的帖子

coldking:請問是鍍完AL2O3升溫還是全部鍍完再升溫呢 (2023-01-08 09:46) ha 2=O

镀完AL2O3在开加热恒温30分钟在镀后面的

离线谭健

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只看该作者 8楼发表于: 2024-04-09

楼主后来解决了没

离线fanmaoteng

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只看该作者 9楼发表于: 12-13

怎么解决工艺