TITKj?*o 摘要 34`'M+3
!<j'Ea
VQ(j pns5 IshKH- 双螺旋(DH) PSF工程在纵向上为三维
成像提供了高
分辨率,它可以通过在光瞳平面上增加一个带有漩涡的相位掩膜来产生[Ginni Grover等,Opt. Exp. 2012]。
VirtualLab Fusion提供了一种快速方便的方法来计算高NA显微镜
系统小离焦的DH PSFs。这个用例说明了DH-PSFs在离焦约130nm时有明显的变化。
hW%TM3l} y0Fb_"} 建模任务 Dl<bnx;0
l}a)ZeR1
V_R@o3kv; 44gPCW,u 在VirtualLab Fusion中构建系统 ]GMe\n 9%k2'iV7 系统构建块 RM]\+BK
:{PJI,
R]vV* KT_!d * 元件解算器 &4 {KV.
)fFb_U
|v`AA?@{8 Cw
iKi^m 利用光线追迹进行几何光学仿真 Pnk5mK$ (iBNZ7sJ 结果:几何光线追迹 3r<~Q7e
NvD7Krqwa
q2/pNV# t=(!\:[D 利用场追迹进行物理光学仿真 &c` nR< mf
A{3 不同离焦像面的双螺旋PSF %d1,a$*3}
|!1Y*|Q%s