=y<Fz*aA 摘要 .]"
o-(gB
}.Ug`7%G
!"wIb.j}0 zw0p} 双螺旋(DH) PSF工程在纵向上为三维
成像提供了高
分辨率,它可以通过在光瞳平面上增加一个带有漩涡的相位掩膜来产生[Ginni Grover等,Opt. Exp. 2012]。
VirtualLab Fusion提供了一种快速方便的方法来计算高NA显微镜
系统小离焦的DH PSFs。这个用例说明了DH-PSFs在离焦约130nm时有明显的变化。
*Q)+Y&qn yO !*pC 建模任务 N.fIg
S+He
f"[C3o2P (Lc%G~{ 在VirtualLab Fusion中构建系统 cD 1p5U 3[c54S+(U 系统构建块 , v R4x:W
Aam2Y,B
hfY2pG9N =lzjMRX(? 元件解算器 //`X+[bMG
vnKUD|
f#!Ljjf$; )!0>2,R1 利用光线追迹进行几何光学仿真 $+Xohtt ?&[`=ZVn 结果:几何光线追迹 GhX>YzD7
*@D.=i>
5-MI7I@l \=w|Zeu{l 利用场追迹进行物理光学仿真 \KTX{qI"f VlKWWQj 不同离焦像面的双螺旋PSF M]oaWQu
?@tp1?)