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计算光学带来的成像革命
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光学薄膜设计,工艺与设备
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中和器不冷却直接充气
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[求助]
中和器不冷却直接充气
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xzaxd
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发表于: 2022-08-09
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请问各位大佬,
镀膜
完成后,中和器不充氩气冷却,直接充气开门会对中和器有什么影响?
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奔跑的小骏马
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1楼
发表于: 2022-08-10
严格意义上讲影响是微观的,比如还在高温状态下的部件氧化、吸潮等问题。就算充氩气也没有办法避免这一问题,充氩气只是从理论分析惰性的氩气会对部件有防护作用,降低其被氧化及吸潮的程度。
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xzaxd
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发表于: 2022-08-10
谢谢!
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谭健
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发表于: 2022-08-14
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4楼
发表于: 2022-08-14
中和器需要充分冷却才能开门。
dH ^b)G4
中和器材质一般是钽,钽在高温的时候和氧发生反应形成氧化物。
bs<WH`P
中和器阴极的氧化物是产品麻点的主要原因。
Hv[d<ylO
;FV~q{
另外,新柯隆的中和器因为是切割成条状的,如果冷却不充分就开门容易发生变形。
:6 Hxxh
甚至涨破陶瓷。
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ouyuu
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5楼
发表于: 2022-08-14
百度了一下钽的化学特性:
u#zP>!
W _PM!>8`
在低于150℃的条件下钽是化学性质最稳定的金属之一。与钽能起反应的只有氟、氢氟酸、含氟离子的酸性溶液和三氧化硫。在室温下与浓碱溶液反应,并且溶于熔融碱中。
(hhdbf
X";QA":
致密的钽在200℃开始轻微氧化,在280℃时明显氧化。钽有多种氧化物,最稳定的是五氧化二钽(Ta2O5)。
qP7&Lt