9 lA YCsX 这是一个简单的二维
光栅的案例，它有两个周期的方形晶格。三维单元晶胞在x和y方向上是周期性的。它包含一个位于衬底上的菱形(平行六面体)，并被背景
材料包围。示例中的材料选择为铬(菱形
结构)、
玻璃(基底)和空气(背景材料)。
|c > c+4SG WmO 光栅被S和P偏振平面波照亮。JCMsuite计算近场分布。下图显示了当
波长为193nm时，平面波从衬底侧垂直入射到结构内的近场强度
S偏振光照明的场矢量
#+_Oy Z* 
P偏振光照明的场矢量 VQo7 se1P
4r5,kOFWb 后处理傅里叶变换计算透射
衍射级次的振幅。
Y{p *$ oM MU5sm 参数扫描
(iWNvVGS :;??!V Matlab®脚本data_analysis/run_scan_illumination.m提供对入射角的扫描。它产生了以下图表，显示了反射和透射衍射级次的强度：
&+sO"j4<?r P v/P< i^ 在脚本data_analysis/run_scan_width.m中,在一个固定的照明
角度下，其中图案宽度从150nm增至250nm。这将产生以下依赖关系
" _q5\]z\O
