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    [资讯]中科院合肥研究院攻克玻璃微孔阵列制造技术 [复制链接]

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    离线jeremiahchou
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    只看该作者 20楼 发表于: 06-29
    团队针对玻璃金属穿孔现有工艺问题,结合中科院合肥研究院和中国科学技术大学微纳研究与制造中心的前期研究基础及平台优势,提出一种新型玻璃金属穿孔晶圆制造方案,开发出了高均一性、高致密、高深宽比的玻璃金属穿孔晶圆,具有超低漏率、超低信号损耗的优势,满足环形谐振器、波导缝隙天线、毫米波天线等5G/6G高频芯片,以及新型MEMS陀螺仪、加速度计3D封装需求。经检测,团队研制出的玻璃金属穿孔晶圆各项主要参数均与国际顶级玻璃厂商肖特、康宁和泰库尼思科等相当,部分参数优于国际水平,在半导体芯片3D先进封装、射频芯片封装、MEMS传感器封装,以及新型MEMS传感器(MEMS质谱、MEMS迁移谱)设计制造、新型玻璃基微流控芯片制作等多个领域具有广阔应用前景。
    离线u201713898
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    只看该作者 21楼 发表于: 06-29
    厉害厉害
    在线xjz0203
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    只看该作者 22楼 发表于: 06-29
    中科院合肥研究院攻克玻璃微孔阵列制造技术
    离线wangjin001x
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    只看该作者 23楼 发表于: 06-29
    中科院合肥研究院攻克玻璃微孔阵列制造技术