切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 《杂散光抑制与评估技术》 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 光学设计与光学元件
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 先进光刻机曝光系统光学设计 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 1178阅读
    • 0回复

    [技术]薄元近似（TEA）与傅立叶模态方法（FMM）在光栅建模中的对比 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    7377
    光币
    31026
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-13
    薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 }w{E<C(M  
    Myh?=:1~(c  
     1+qP7 3a^  
         1e I_F8I U  
    建模任务 k{cPiY^  
    e /L([  
     &5hs W1`  
    ,?wxW  
    正弦光栅—效率与高度（TEA） {5c]\{O?[  
     Au*1-  
     SA?1*dw)  
    *O7PH1G  
    正弦光栅—透射相位曲线 p Moza8  
    y8 dOx=c  
     C{,Vk/D-0  
    Nop61zj  
    正弦光栅—透射相位曲线 otQ G6  
    M%7|7V<o)^  
     -0<ZN(?|  
    xsU3c0wbr8  
    正弦光栅—衍射效率 N3w y][bo  
    $ SZIJe"K  
     NosOd*S  
    GZm=>!T  
    正弦光栅—效率与周期 Jv!f6*&<  
    cvYKZB  
     kH4m6p  
    *?+2%zP  
    正弦光栅—特定周期下的相位曲线 (*\y  
    i#PR Tbc  
     (iht LFp  
    {,= hIXo>  
    闪耀光栅—效率与高度（TEA） ruy?#rk  
    :N'   
     (N5"'`NZA  
    zo@,>'m  
    闪耀光栅—透射相位曲线 1yTw*vH F  
    m3XT8F*&  
     !$<Kp6  
    *p|->p6,u  
    闪耀光栅—衍射效率 c*R18,5-  
    Wj, {lJ,  
     {ea*dX872:  
    H7f  Xg  
    闪耀光栅—效率与周期 bnV)f<  
    ".?y!VY  
     ?i}wm`  
    GqgJ]m  
    闪耀光栅—特定周期下的相位曲线  !>Q{co'  
    `!ZkWF6  
    b(> G  
     ^[v>B@p*{  
    VirtualLab Fusion一瞥 m`jGBSlw_  
    J~ wu*x  
     Z1wfy\9c8  
    4 &0MB>m  
    VirtualLab Fusion工作流程 E&Sr+D aPD  
                                       B0^:nYko  
    ~O 4@b/!4  
    • 设置光栅结构 \3)U~[O>:  
    −使用界面配置光栅结构[用户案例] .[Ny(X/]/}  
    • 分析光栅衍射效率 <<H'Z  
    −光栅阶次分析器[用户案例] ~u r}6T  
    • 通过参数运行检查不同参数的影响 fmFs  
    − 利用参数运行文档[用户案例] h9 rrkV9  
    vb`:   
     !0cb f&^:  
     0 - u,AD  
    VirtualLab Fusion技术 D?"Q)kVuD  
    $C8s  
     %@%~<U)W  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表