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P\.WXe#j 内容简介 <"N:rn{Qq Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 k&O C& 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 IZ+*`E 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 +z+F- 此书也是Macleod先生生前的最后一部作品,非常有纪念收藏价值!有兴趣的可以联系我 (gLea :}^Rs9 '
b([:,T7 目录 @o`sf-8x Preface 1 R'Sa?6xS4 内容简介 2 L?C\Q^0"`G 目录 i OO-_?8I} 1 引言 1 8098y,mQe 2 光学薄膜基础 2 jz|VF,l 2.1 一般规则 2 FU[*8^Z 2.2 正交入射规则 3 !zU/Hq{wcK 2.3 斜入射规则 6 O97VdNT8 2.4 精确计算 7 0%/,>IR>r 2.5 相干性 8 wc"9A~ 2.6 参考文献 10 j]AekI4I 3 Essential Macleod的快速预览 10 64SW 4 Essential Macleod的特点 32 Ys-^7
y_ 4.1 容量和局限性 33 >xZ5ac
I 4.2 程序在哪里? 33 # ?_#!T| 4.3 数据文件 35 ebzzzmwo 4.4 设计规则 35 p*Xix%#6 4.5 材料数据库和资料库 37 =`JW1dM 4.5.1材料损失 38 B4@fY 4.5.1材料数据库和导入材料 39 jg?bf/$s 4.5.2 材料库 41 AHq M7+r9 4.5.3导出材料数据 43 tp@*=*^I 4.6 常用单位 43 C B6A}m 4.7 插值和外推法 46 su}&".e^ 4.8 材料数据的平滑 50 f#1/}Hq/I 4.9 更多光学常数模型 54 emA.{cVr! 4.10 文档的一般编辑规则 55 oI*d/* 4.11 撤销和重做 56 5PDSA* 4.12 设计文档 57 >d#3|;RY 4.10.1 公式 58 hv3;irK]& 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 fSbS(a 4.10.3 沉积密度 59 |88CBiu} 4.10.4 平行和楔形介质 60 (nq^\ZdF 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 Vn^) 4.10.4 性能 61 ^}hJL7O' 4.10.5 保存设计和性能 64 \Y+") 4.10.6 默认设计 64 P:qz2Hw 4.11 图表 64 ~JLYhA^'+< 4.11.1 合并曲线图 67 @cPflb 4.11.2 自适应绘制 68 a#$N% =j 4.11.3 动态绘图 68 !W~QT} 4.11.4 3D绘图 69 0t+])> 4.12 导入和导出 73 H$Kw=kMw 4.12.1 剪贴板 73 ~}K{e 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 _H8*ReFG 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 S!`:E 4.13 背景 77 )(lJT&e 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 1\y@E 4.15 生成Rugate 84 9)Ly}Kzx 4.16 参考文献 91 1 =^ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 /9Z!p 5.1 Jobs 92 ?~Pv3'%d 5.2 创建一个新Job(工作) 93 @7%.7LK 5.3 输入材料 94 2$tQ @r 5.4 设计数据文件夹 95 w:Ra7ExP 5.5 默认设计 95 AX;c}0g 6 细化和合成 97 =DC3a3&% 6.1 优化介绍 97 s%O Y<B@V2 6.2 细化 (Refinement) 98 |kc@L`7s 6.3 合成 (Synthesis) 100 l~D\;F 6.4 目标和评价函数 101 e8-ehs> 6.4.1 目标输入 102 lov%V*tL 6.4.2 目标 103 >Mw'eQ0(y 6.4.3 特殊的评价函数 104 (-(QDRxK 6.5 层锁定和连接 104 `c9'0*- 6.6 细化技术 104 \2 >3Opt 6.6.1 单纯形 105 "Vy WT 6.6.1.1 单纯形参数 106 s&VOwU 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 o,*=$/or 6.6.2.1 Optimac参数 108 *{|$FQnR>( 6.6.3 模拟退火算法 109 :v)6gz(p 6.6.3.1 模拟退火参数 109 [S0mY[" 6.6.4 共轭梯度 111 *gDl~qNRoS 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 b]i>Bv 6.6.5 拟牛顿法 112 n]iyFZ`9 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 CdL.?^ 6.6.6 针合成 113 @$c!/ 6.6.6.1 针合成参数 114 K{2h9 ]VF 6.6.7 差分进化 114 #x)8f3I 6.6.8非局部细化 115 Mg\TH./Y: 6.6.8.1非局部细化参数 115 $UC {"0 6.7 我应该使用哪种技术? 116 $w/E9EJ)3A 6.7.1 细化 116 #ouE r-= 6.7.2 合成 117 wDKELQ(yH 6.8 参考文献 117 1'fb
@vO 7 导纳图及其他工具 118 3+V#[JBJv 7.1 简介 118 NO4Z"3Pd_ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 b
i~=x 7.2.1 四分之一波长规则 119 F&az": 7.2.2 导纳图 120 RX>2~^ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 \0&SI1Yp 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 9go))&`PJL 7.5 斜入射导纳图 141 CN\=9Rvs 7.6 对称周期 141 fEwifSp. 7.7 参考文献 142 Sc_5FX\Yx 8 典型的镀膜实例 143 `tVy_/3(9 8.1 单层抗反射薄膜 145 MUwxgAG`G 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 d.AC%&W 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 aq$q
~,E 8.4 W-膜层 148 t^U^Tr 8.5 V-膜层 149 4K7{f+T 8.6 V-膜层高折射基底 150 M*`hDdS 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 Dr+ Ps 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 #xp(B5 8.9 四层抗反射薄膜 153 (w$'o*z;( 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 cmDT
+$s 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 {SdO9Yy?@7 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 EO:avH.*0 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 th
2<o5 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 &F6C 8.15十五层宽带抗反射膜 159 gDC2
>nV 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 &S-er{]] 8.17 1/4波长堆栈 162 =:~(m 8.18 陷波滤波器 163 $^h?:L:1n 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 y-a|Lu* 8.20 褶皱 165 onnugj3 8.21 消偏振分光器1 169 !*vBW/ 8.22 消偏振分光器2 171 &<0ZUI |S3 8.23 消偏振立体分光器 172 U=m=1FYaG 8.24 消偏振截止滤光片 173 9/3;{`+[a 8.25 立体偏振分束器1 174 %{'4.
, 8.26 立方偏振分束器2 177 >];"N{ A 8.27 相位延迟器 178 eaAPKx 8.28 红外截止器 179 GFL-.?
0 8.29 21层长波带通滤波器 180 #pA[k- 8.30 49层长波带通滤波器 181 e=>%^F 8.31 55层短波带通滤波器 182 5[R?iSGL1 8.32 47 红外截止器 183 (0C&z/ 8.33 宽带通滤波器 184 "b%FmM 8.34 诱导透射滤波器 186 Y[G9Vok
VX 8.35 诱导透射滤波器2 188 BY(
eV! 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 *eGM7o*\X 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 N!c
gN 8.35 增益平坦滤波器 193 D=&K&6rr 8.38 啁啾反射镜 1 196 GOVAb' 8.39 啁啾反射镜2 198 hSMV&Cs 8.40 啁啾反射镜3 199 ri+U0[e3 8.41 带保护层的铝膜层 200 7' eh)[T 8.42 增加铝反射率膜 201 _yVPpA[a 8.43 参考文献 202 !^v\^Fc 9 多层膜 204 f#OQ (WTJE 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 ^73=7PZ 9.2 内部透过率 204 O-!,Jm 9.3 内部透射率数据 205 E474l 9.4 实例 206 VMHC/jlX@r 9.5 实例2 210 =bL{i&& 9.6 圆锥和带宽计算 212 2C1+_IL 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 8&.-]{Z 10 光学薄膜的颜色 216 M[s\E4l:t 10.1 导言 216 t)r1"oA 10.2 色彩 216 &HL{LnLP@/ 10.3 主波长和纯度 220 p+<}YDMb 10.4 色相和纯度 221 <'2u
a 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 jVYH;B%%z 10.6 色差 226 @]?R2bI 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 #U@| J}a 10.8 颜色渲染指数 234 j@ v-| 10.9 色差计算 235 YoAg 10.10 参考文献 236 Ub)M*Cq0(o 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 p(?3
V 11.1 短脉冲 238 /b{HG7i\ 11.2 群速度 239 M&[b.t* 11.3 群速度色散 241 woau'7}XOu 11.4 啁啾(chirped) 245 * nCx[ 11.5 光学薄膜—相变 245 c<tmj{$
11.6 群延迟和延迟色散 246 q[c Etp28h 11.7 色度色散 246 {D,RU8& 11.8 色散补偿 249 $?f]ZyZr. 11.9 空间光线偏移 256 5f_7&NxT 11.10 参考文献 258 %U?)?iZdL 12 公差与误差 260 gZ` DT 12.1 蒙特卡罗模型 260 x'i0KF 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 CZ tiWZ 12.2.1 误差工具 267 P)1EA; 12.2.2 灵敏度工具 271 &7Kb]Ti 12.2.2.1 独立灵敏度 271 ?Aw3lH#: 12.2.2.2 灵敏度分布 275 =v0~[E4 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 o4~kX 12.3 参考文献 276 /qXzOd 13 Runsheet 与Simulator 277 EfKntrom[ 13.1 原理介绍 277 kM`7EPk 13.2 截止滤光片设计 277 ke6n/ h5` 14 光学常数提取 289 (8x
gn 14.1 介绍 289 c F=P!2@ 14.2 电介质薄膜 289 !*bdG(pK 14.3 n 和k 的提取工具 295 a8QfkOe 14.4 基底的参数提取 302 bA*"ei+!
14.5 金属的参数提取 306 5/(sjMB 14.6 不正确的模型 306 q+%!<]7X 14.7 参考文献 311 la`"$f 15 反演工程 313 u){S$</ 15.1 随机性和系统性 313 })7K S? 15.2 常见的系统性问题 314 61,O%lV 15.3 单层膜 314 kfK[u/<i 15.4 多层膜 314 E9R]sXf8 15.5 含义 319 ^A#x<J+ 15.6 反演工程实例 319 w4A#>;Qu* 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 `^e*T'UPl 15.6.2 反演工程提取折射率 327 y5%5O xB 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 }4KW@L[g 16.1 光学性质的热致偏移 329 9b%j.Q-W 16.2 应力工具 335 ?i%nMlcc 16.3 均匀性误差 339 /.@x
4cdS 16.3.1 圆锥工具 339 #ovM(Mld 16.3.2 波前问题 341 t=
*Jg/$ 16.4 参考文献 343 iAHZ0Du 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 e^WqJ7j 17.1 引言 345 f1\7vEE, 17.2 操作数 345 JZw^W{ 18 如何在Function中编写脚本 351 oG\>-- 18.1 简介 351 y#e ?iE@ 18.2 什么是脚本? 351 }VZM,.w 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 1tyNRoET 18.4 基础 352 Q@Dkl
F 18.4.1 Classes(类别) 352 X+*<B(E 18.4.2 对象 352 b"3uD` 18.4.3 信息(Messages) 352 eA&t% 18.4.4 属性 352 i'iO H|s 18.4.5 方法 353 wt\m+!u` 18.4.6 变量声明 353 z L8J`W 18.5 创建对象 354 Yx 3|G 18.5.1 创建对象函数 355 xD^wTtT 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 P
eHW[\) 18.5.3 丢弃对象 356 MYu`c[$jZ 18.5.4 总结 356 {83C,C- 18.6 脚本中的表格 357 :mn(0
R~ 18.6.1 方法1 357 1VGpq-4*j 18.6.2 方法2 357 8=pv/o 18.7 2D Plots in Scripts 358 (gDQ\t@3- 18.8 3D Plots in Scripts 359 ph+M3q(z 18.9 注释 360 =-m(\} 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 6+?wnp- 18.11 一个更高级的脚本 362 7?,7TR2Ny 18.12 <esc>键 364 <OIUyZS 18.13 包含文件 365 XJ O[[G` 18.14 脚本被优化调用 366 LS{bg.e 18.15 脚本中的对话框 368 W7$s5G, 18.15.1 介绍 368 cB<O.@ 18.15.2 消息框-MsgBox 368 d~sJ=) 18.15.3 输入框函数 370 X'xUwT|_+ 18.15.4 自定义对话框 371 A`IHP{aB 18.15.5 对话框编辑器 371 73VQ@Jn 18.15.6 控制对话框 377 %fBP:5%K 18.15.7 更高级的对话框 380 ^?nP$+gq 18.16 Types语句 384 @]E]W#xAn 18.17 打开文件 385 [0wP\{% 18.18 Bags 387 <c(&T<$ 18.13 进一步研究 388 o:H'r7N
19 vStack 389 L,WkJe3 19.1 vStack基本原理 389 %uj[ ` 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 9@Q&B+! 19.3 五棱镜 393 X:U=MWc> 19.4 光束距离 396 "~_$T@^k> 19.5 误差 399 3Fgz)*Gu] 19.6 二向分色棱镜 399 JV&Zwbu 19.7 偏振泄漏 404 )=y.^@UT@ 19.8 波前误差—相位 405 ?THa5%8f 19.9 其它计算参数 405 O/(3 87= U 20 报表生成器 406 LNaeB(z" 20.1 入门 406 40R"^* 20.2 指令(Instructions) 406 =,O/,2) 20.3 页面布局指令 406 Qg[heND 20.4 常见的参数图和三维图 407 >CH 20.5 表格中的常见参数 408 1E8$% 6VV 20.6 迭代指令 408 t?KUK>>w 20.7 报表模版 408 QjI#Cs}w 20.8 开始设计一个报表模版 409 u2Y N[|V 21 一个新的project 413 o
T:j:n 21.1 创建一个新Job 414 Wux 0RF& 21.2 默认设计 415 `(P
"u 21.3 薄膜设计 416 )ni"qv~J 21.4 误差的灵敏度计算 420 o1Ne+Jt 21.5 显色指数计算 422 PL9<*.U"= 21.6 电场分布 424 l+|1G 后记 426 (Z5qf
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