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前言 3N JH"amk 微纳光学是当前光学学科发展最活跃的前沿之一，结合了光子学与纳米技术的前沿成果，主要优点是能在局域电磁相互作用的基础上实现许多全新的功能，成为21世纪不可或缺的关键科学和技术。微纳光学不仅是光学领域的前沿研究方向之一，也是目前新型光电子产业的重要发展方向，在光通信、光互联、光存储、传感成像、传感测量、显示、固体照明、生物医学、安全、绿色能源等领域起到不可替代的作用。在这些广泛的应用领域可以使用JCMsuite进行模拟分析与设计，大大降低时间成本和物料成本。 {&4qknPd% JCMsuite是基于有限元方法(FEM)的一款纳米光学软件包。使用有限元方法(FEM)计算复杂纳米光学系统中电磁场分布，为解决科学和技术挑战提供了一种通用、严格且非常快速的方法。JCMsuite可以解决时谐麦克斯韦方程组的光散射问题、波导设计问题和光学共振问题，以及线性弹性问题、热传导问题以及这些类型的任何耦合问题。 EfUo<E 通过JCMsuite，用户可以定义各种材料特性，例如复杂和各向异性的材料的介电常数和磁导率张量、分散特性、导热率和刚度。软件依赖基于残差的误差估计，自动选择各种数值设置，例如有限元度和PML(完全匹配层)设置。同时也特别关注光学上所有必要的后期处理和有效计算，例如傅立叶变换、远场、能量通量、重叠积分、光学成像、共振扩展和赛尔因子。 ?O3 G 本书详细介绍了JCMsuite各个应用领域的实操案例。本书共十一章，分别介绍了不同应用领域的案例介绍，包含激光、掩模、散射测量、椭偏仪、光伏发电、表面等离子体、光纤、光学手性、衍射光学元件以及光子晶体。每个案例都涵盖了建模流程，从材料定义、布局定义、光源定义到项目定义整个过程，旨在帮助JCMsuite初学者通过案例快速学会软件。本书主要参考JCMwave公司发布的案例翻译整理而成。 ~/.&Z`ls 《JCMsuite案例指导书籍》，是由上海讯技光电工程部成员翻译整理而来，译者希望本书能对JCMsuite的使用者有所帮助，通过学习后能较好的掌握JCMsuite软件的基本使用方法。由于译者水平有限，书中错误纰漏之处，敬请同行读者批评和指正。 !eO?75/ ofi']J{R 讯技光电科技(有限)公司 2022年2月 上海 f2Slsl;
目录 cCeD3CuRA%
1.光源部分—引言 3 2Hd 6
1.1垂直腔面发射激光器 3 gGX/p6"
1.2高功率二极管激光器 7 v0y7N_U5n
1.3量子点发射器 12 F 4h EfO3
1.3.1微米柱 12 <zUmcZ
1.3.1.1旋转对称发射器 14 S
xg Y q
1.3.2微透镜 18 .Q#Eb %%
1.3.2.1耦合至光纤 20 iVl"H@m/
1.3.3二维模型 22 J|b1
K ]
2.光掩模 23 _Yhpj}KZ
2.1衰减相移掩模 24 - Z|1@s&
2.1.1降基法 26 t3WlVUtq3
2.2独立的接触孔 33 ruW6cvsvet
2.3 EUV掩模 37 1,mf]7k$
2.4光学成像 42 FStfGN
3.散射测量 43 `BvcI n4do
3.1硅通孔技术 43 xtnB: 3
4.椭偏仪 48 /U`"|3
4.1 块状材料 48 m$ JQ[vgh
5.光伏发电 51 1E Rz:\
5.1 薄膜太阳能电池 51 y^XwJX-f
5.1.1薄膜太阳能电池一维模型 59 _]4cY% s
6.表面等离子体光学 60 :[rx|9M6
6.1孤立的狭缝和凹槽 61 b
9?w
_
6.2等离子波导 66 [ wROIv V
6.3等离子纳米天线 69 Gmwn :
6.3.1共振扩张 71 byMO&Lb*
7.光纤 72 6lhVwgy3A
7.1单模光纤 72 e (f)?H
7.2折射率渐变光纤 74 h>n;A>k@N
7.3弯曲单模光纤 77 [Cs2H8=#
7.4光子晶体光纤 78 a[u8x mH
7.4.1空心光子晶体光纤 78 N8vWwN[3
7.4.1.1核心模式过滤 80 Nhf!;>
7.4.1.2扭曲式光子晶体光纤 82 e 9:l
7.4.2多核光子晶体光纤 82 $W2g2[+
7.4.2.1减少计算域问题 84 (&B &
V
8.光学手性 85 +j<Nu)0iY
8.1孤立散射体 85 #Q{6/{bM&J
8.2四分之一波片 88 oYF8:PYB
9.散射光学元件 90 qle\c[UM5
9.1光栅 91 <O*q;&9
9.1.1线栅 92 QL)UPf >Kp
9.1.2闪耀光栅 95 J3zb_!PPE
9.1.3方形晶胞 97 qV}zV\Nz
9.1.4六方晶胞 99 S38D
cWIw
9.2孤立线栅 101 k`&mHSk-
9.3光阑 104 $ey<8qzp
9.4狭缝 106 D" o>\Q
9.5十字交叉结构 109 OUs2)H 61
9.6 纳米球 110 NB eGmC|
10.硅光子 117 wb{y]~&6K
10.1脊形波导 117 =thgNMDm"
10.2环形谐振腔 119 Jd%#eD*k9
10.3光子晶体谐振腔 124 $a-~ozr`C
11.光子晶体 126 5|Y4GQVz
11.1光子晶体谐振腔 126 LJiMtq g
11.2光子晶体光纤 128 \\'! <Bn2d
11.3一维光子晶体 128 1S=I(n?E
$DMeU A\av
Y,8M[UIK
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