切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 《杂散光抑制与评估技术》 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 光学设计与光学元件
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 现代光学设计及应用(Zemax) CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 1725阅读
    • 0回复

    [技术]泰伯(TALBOT)光刻机 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    7060
    光币
    29445
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-05-18
    作为最著名的衍射效应之一，泰伯(Talbot)效应可以用于光刻技术中以制造周期性纳米结构。继I.-H. Lee等人，我们在六边形网格上构造了一个圆锥形光栅掩膜版，并以深度方式模拟了Talbot图像的生成。 特别是，由于光刻过程中使用的紫外光是非偏振的，因此我们在示例中演示了如何为VirtualLab Fusion中的光栅模拟建模非偏振光。 VwOG?5W/  
     3 IWLBc  
    圆锥形相位掩模的Talbot图像 B?#kW!wj  
    :K^gu%,&$  
    在VirtualLab Fusion中对带有圆锥体的相位掩模版进行了建模。检测到不同的Talbot图像，以使柱形图案位于主像平面中，而孔图案出现在次像平面中。 "7yNKO;W  
     6vgBqn[  
    用于光栅仿真的非偏振光–实例讨论 `/w\2n  
    K/2.1o;9  
    示范了在VirtualLab Fusion的光栅仿真建模中，如何以两个正交偏振态的平均值建模非偏振光的影响。 Ob8B  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表