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偏振相关衍射光栅对一些光学测量系统很有帮助。根据J. Wuster等人的工作,我们遵循形式双折射原理构造了一个亚波长结构的光栅。该光栅具有大于波长的超周期,且具有明显偏振相关性: TE偏振照明时,零阶透射效率高;在TM情况下,±1阶有较高的效率。 %t|2GIu & ~G
VzM@DM]= ~ 61wG: 2. 建模任务 iw;Alav"x !3M!p& F7Yuky cW/~4.v$ 3. 光栅特性分析 pR7G/]U$A ][qA@3^Tw
_r)nbQm& EMH}VigR 4. 内部场分析 { 3P!b|V> Y k6WSurw
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