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对无吸收波段,单波长监控,厚度达到导纳虚部为0时,停止点是极值。 VRWAm>u
在已镀膜堆的导纳虚部为0的基础上, ,<n}W+3
续镀规整膜层,则停止导纳虚部回到0。 ?26I,:;
续镀非规整膜层(停止点不再在0),则必然还要有至少1层以上非规整层才能让导纳虚部回到0。 Q]Y*K
常规的膜系设计软件,以光谱特征为目标, (镀制时根据设计结果来找寻合适 监控方案)。 #^lL5=
楼主此要求是以 镀制过程为目标。可能要自己来做。 Cc+t}"^
或可以把想法告诉 软件商,让他们去实现。 (6?9B lH~
TFC等软件就是这么越来越完善的。