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对无吸收波段,单波长监控,厚度达到导纳虚部为0时,停止点是极值。 A-eCc#I
在已镀膜堆的导纳虚部为0的基础上, FY]Et=p
续镀规整膜层,则停止导纳虚部回到0。 M?kXzb\O
续镀非规整膜层(停止点不再在0),则必然还要有至少1层以上非规整层才能让导纳虚部回到0。 @v.?z2h
常规的膜系设计软件,以光谱特征为目标, (镀制时根据设计结果来找寻合适 监控方案)。 -Byl~n3*D
楼主此要求是以 镀制过程为目标。可能要自己来做。 5j _[z|W2
或可以把想法告诉 软件商,让他们去实现。 w"A>mEex<
TFC等软件就是这么越来越完善的。