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此案例演示了设计和优化衍射光学元件的(DOE)作为光扩散器,来生成矩形高帽图样。 r e.chQ6 Y4e64`V) 1.建模任务 ;|Idg"2 [h SE^
m a@$ U?=\e DOE:扩散器 xq+$Q:f 直径:1.4mm X 1.4mm hG .>> 相位等级:2 0|E!e 像素尺寸:>1um `VX]vumG Vui5Z K
,TPNsz|Q 2.照明光束参数 R`q*a_ ":EfR`A#
2mN>7Tj: Cg<:C?>!p Mk9' 波长:632.8nmm 9r=@S 激光光束直径(1/e2):700um "W$,dWF 0j\?zt? 3.期望输出场参数 sJo]$/?F E:/G!1
ImO\X`{ [<`K%1GQ Fw? ;Y% • 直径:1° rt)70= • 分辨率:≤0.03° G,I[zhX\ • 效率:>70% ]o`qI#{R~R • 杂散光:<20% zBD ?O!
)u?pqFH 4.设计和优化方法 IH8^ fyQ` W<C
\g~\ • VirtualLab Fusion可以使用不同的设计和优化方法。 |fnP@k • 对于此案例,迭代傅里叶变换算法(IFTA)用于设计和优化(DOE)期望的衍射光学元件。 Hv2t_QjKT Lsv[@Rl 5.配置方法 MUsF/1 gjB36R 2 Pn 你可以 k4r;t: O ^ • 使用辅助会话编辑器,进行光学系统的设置并且配置优化和设计文档。 0Ou;MU*v • 或手动进行一切配置(更高级的方法)。 Lh.?G#E M 8?#4<4Ql8 通过点击Start→Diffractive Optics→Regular Shape Diffuser 看可以打开会话编辑器的开开始页面。如下图所示。 Q`k=VSUk YCZl1ry:V=
6p`AdDV 6'
}oo'#~ 6.设置输入光束参数 )HbsUm# Lt>"R! "x
):HjpJvF KPO?eeT.WZ 腰束和发散角的定义:1/e2 Waist Diameter,Divergence Full Angle。 .U|irDO Wm>[5h%>
<?UbzT7X "`]G>,r_ 设置波长为632.8nm,腰束直径为700um。 P(pw$
q$S H0<(j(JK 7.光学系统 5ZeE& vG2 Ojqbj0E9
>xQgCOi iIWz\FM 选择光学系统为角谱(Angular Spectrum)。 8q9HQ4dsL \; ! oG
%xZYIYKf 6UK{0\0 光学系统周围介质默认为空气。 _K"|}bM KW.*LoO 8.期望输出场设置 2Zt :]be Fm}#KE0
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@ G|eY$5!i 维度设置为二维高帽(2D Top Hat),高帽(Top Hat)形状设置为矩形(Rectangular Shape)。 Ibt~e4f &4 Py 9.参数确认过程中的提示 0kxo ,#&\1Vxf
4CA(` _i~ M#o.$+Uh #'5|$ug[ • 指定要创建光图样的期望光学分辨率。 sb"z=4 • VirtualLab Fusion给出了一些有用的建议。 I&JVY8' • 考虑到在相干照明下,光图案由散斑组成。为了获得清晰的期望光图案,散斑尺寸应该小于光图案的最小细节。 A[lbBR • 散斑大小由分辨率影响,但不能任意控制。 (A!+$}UR ~ [L4,q 10.警告 xs+pCK | 2ghTAsUx9 h^_Sd"l3 g}>Sc=e< 出现以下情况,会出现红色警告信息: TG4?"0`I5 • 通告指定的光学系统,不能达到期望的分辨率。 {
FVLH:{U^ • 光学系统将创建离散点,而不是散斑图。 >YP6/w,e • 光学系统或指定分辨率并不能实现光图案所有的细节。 Hy4c{Ij 6*yt^[W 单击Optimize Resolution按钮来帮忙调整系统参数。 GIXxOea1 O ?`=<W/R 11. 帮助改变参数 /{Ff)<Q.Z ZlaU+Y(_[
*12,MO>go 4n6EkTa #p'Xq
}] • 这个对话框会显示分辨率是否适合典型的扩散器设计。 !6y< |