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此案例演示了设计和优化衍射光学元件的(DOE)作为光扩散器,来生成矩形高帽图样。 |!dyk<}oIu #O^H?3Q3 1.建模任务 \P!v9LX( 9x&,`95O N{iBVl DOE:扩散器 *-Y77p7u 直径:1.4mm X 1.4mm <8!mmOK1 相位等级:2 JrseU6N 像素尺寸:>1um 6 -gx ba b#P,
0F`@/C1y55 2.照明光束参数 X.xp'/d NaG1j+LN
J'Yj_ o&g=Z4jj< ):&A\nb 波长:632.8nmm wsP3hE' ] 激光光束直径(1/e2):700um #@Zz
Bf wlC_rRj~ 3.期望输出场参数 aC X](sN %fh
,e5(LT
!y'LKze+G B c*Rn3i@ 1]fqt[*) • 直径:1° x+nrdW+ • 分辨率:≤0.03° Hy|$7]1 • 效率:>70% ~m[^|w • 杂散光:<20% ,y,NVF HV&N(;@ 4.设计和优化方法 Mmbb}(< it5].A& • VirtualLab Fusion可以使用不同的设计和优化方法。 ]XJpy-U • 对于此案例,迭代傅里叶变换算法(IFTA)用于设计和优化(DOE)期望的衍射光学元件。 :doP66["! 3A4?9>g)KU 5.配置方法 <N=p_m
2T DuZ51[3_L nmc=RK^cM 你可以 Cq u/(= • 使用辅助会话编辑器,进行光学系统的设置并且配置优化和设计文档。 rgB`<[:b • 或手动进行一切配置(更高级的方法)。 %&4sHDP +G?4Wc1 通过点击Start→Diffractive Optics→Regular Shape Diffuser 看可以打开会话编辑器的开开始页面。如下图所示。 8G1Tpn 5ts8o&|
Vg\EAs>f KZ`d3ad 6.设置输入光束参数 0DIaXdOdW+ j?+FS`a!
_z)G!_7.>\ '- 4);:(^ 腰束和发散角的定义:1/e2 Waist Diameter,Divergence Full Angle。 t\CVL?e` my[)/'
$9+}$lpPd -mO[;lO 设置波长为632.8nm,腰束直径为700um。 6BFtY+.y ]b.@i&M 7.光学系统 pYI`5B4 d&wg\"E
,@khV X{9D fgW 选择光学系统为角谱(Angular Spectrum)。 %TPnC'2 | 5Mhrb4.
68*h#& 1V+a;-? 光学系统周围介质默认为空气。 9&g//JlD KU"?ZI 8.期望输出场设置 )2g\GRg6 k5$_Q#
:w#Zs)N rfkk3oy 维度设置为二维高帽(2D Top Hat),高帽(Top Hat)形状设置为矩形(Rectangular Shape)。 FaPX[{_E tUGnD<P 9.参数确认过程中的提示 >+7+ gSD#: QSW03/_f
{e<J}-/? G=jdb@V/? &0It"17Ej • 指定要创建光图样的期望光学分辨率。 .*r?zDV • VirtualLab Fusion给出了一些有用的建议。 cnnlEw/& • 考虑到在相干照明下,光图案由散斑组成。为了获得清晰的期望光图案,散斑尺寸应该小于光图案的最小细节。 mF%>pj& |