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摘要 6|B9kh} =9 )k:S( 在VirtualLab Fusion中,当研究制造偏差对优化系统的影响时,可以使用随机变化的参数运行。根据制造工艺的不同,不同参数的偏差可能遵循不同的随机分布规律。虽然参数运行的默认随机模式假定均匀分布,但在此用例中,我们想展示如何使用可编程参数运行对公差中涉及的每个参数应用不同的随机分布。作为说明,我们选择了锯齿光栅的例子,为此我们研究了负一传输级次的最低效率。 !Tv3WQ@ `#l3a
x$o^;2Z ToPjBvD 任务描述 ;>5`Y8s6 YI7M%B9Lj
~AYl eM u<cnz%@ VirtualLab Fusion中的系统 – 元件 TvDC4tm-: ej}S{/<*n
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5/gDVQ ZfqN4 VirtualLab Fusion中的系统 – 分析器 [yk-<}#B I_z(ft.
7XyCl&Dc: 4LB8p7$|a3 可编程参数运行 7`A]X,: <]1,L%
lTq"j?#E]m 300w\9fn& 可编程参数运行选项 <C(o0u&/ f4Y)GO<R]
HrsG^x r#4/~a5i~ 分布类型 UWKgf? _ rq8 d}wj
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dgS@g 在均匀分布的情况下,点数将在允许的范围内均匀分布。正态分布和截断正态分布都假设一个点被取的概率为高斯分布。标准正态分布和截断正态分布之间的区别在于,在截断分布的情况下,不会取参数范围外的值,而是在范围内生成一个新数。 Lm2!<<< /o m++DxV 效率的统计分布 _,T
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|SjRss:i+ Q7XOO3<): 光栅公差 }/vW"&h- A/'po_'uy
J>}J~[ap\J 3*=0`}jMJ 最低效率的级次效率 rjK`t_(= K$M+"#./
_i+@HXR & s b;q)Rh 随机分布类型 V9v20iX A'KH_])
W/ Q*NB !>`Fg>uy 文件信息 1Q>nS[ GcdJf/k
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