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摘要 rI#,FZ aZ'(ar: 表面反射的抑制在许多光学应用中都很重要。控制表面反射的一个非常有趣的方法是使用抗反射的纳米和微结构,这是由自然(蛾眼)启发的。这些在亚波长域具有特征尺寸的结构在波长和角度依赖性方面表现出独特的特性。本文介绍了VirtualLab Fusion中确定性抗反射结构的分析与设计。 :h8-y&; [:M Fx6
*J3Z.fq%:i 7-Mm+4O9 设计任务 E$C0\O!7 ms6dl-_t kYZj^tR B=)tq.Q7 扫描参数空间寻找初始解 RjxFlKs8 a v"dJm "ph[)/u; FT6~\9m( 初始解的参数优化#1 2O(= 2X @MxB
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V~O@JP }qg.Go 最终设计性能分析#1 m't8\fo^w c7@[RG !
B8 r#o=q1 KkZS 6rD\ 初始解的参数优化#2 4W<8u( GhR%f xe %\B@!4] ldWrv7.P 最终设计性能分析#2 om{aws; e"cvo(}g cH`ziZ<&m1 lnnT_[ni. 走进VirtualLab Fusion A>C8whx @n;$Edza/
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+ - Grating Order Analyzer [使用案例] >{eGSSG0 · 用参数Run搜索初始解 uF\ ;m. - Usage of the Parameter Run Document [使用案例] }{F1Cr · 通过参数优化找到最终设计 CD pLV: pwmH(94$0
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