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摘要 VZ!$'?? 0(6`dr_
2fA9L _:0 ~#Mx&mZ 斐索干涉仪是工业上常用的一种光学测量仪器,常用于高精度的光学表面质量检测。利用VirtualLab Fusion的非序列追迹技术,我们建立了斐索干涉仪,并将其用于测试不同的光学表面,如柱面和球面,可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。 nWsz0v3'9 SuuS!U+i> 建模任务 !~kzxY H( m+rk
XOFaS '. pZn%g]nRD 观测倾斜平面 bS"M* h0pr"]sO;$
6S&YL ^%^0x'" 观测柱面 9^olAfX`dB f ebh1rUX
K>6p5*& s]>%_(5 观测球面 a"4 6_> Jp0.h8i
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