本案例计算从传输中得到的衍射光学元件的高度分布和结构数据的产生 4OCz:t 关键词:衍射光学,衍射光学元件,结构数据,GDSII,ASCII,位图 fLc<}DF 所需工具箱:Diffractive Optics Toolbox Basic;Tutorial在试用版本中不可用。联系LightTrans或者当地经销商可申请一段全版本的试用。 '4HwS$mW3 相关Tutorials:DO.1; DO.2; DO.3; DO.4; DO.5; DO.7; LBS.1; LBS.2 + qpD>5# 建模任务 XpOsnvW PKdM-R'Z jc;&g)Rv
j@UW[,UI I$qL=
照射光束强度 衍射扩散器 产生的光图样强度 6JRee[
建模任务 iv#9{T
M%&`&{
yKZ~ ^ 2 扩散器参数: j(nPWEyJM —相位层:4 0%FC;v0 —像素尺寸:830*830nm BHZGQm —口径:1*1mm -Rjn<bTIy —周期:664,83*664,83um jGI!}4_ 2 结构数据输出为二进制格式 e"^1- U\ 2 需要的高度分布计算 nkN]z
^j 2 蚀刻掩模分解 UfcM2OmbK 2 蚀刻掩模输出为位图和GDSII文件 Duptles 打开光学扩散器系统 IA8kq =W ODv)-J k qwS/s .fo.mC@a 2 上载
文件 ,Hys9I DO.008_Generation_of_DOE_Fabrication_Data_01.lpd.
'kW`62AX 2 文件在VL_Samples文件夹中
+qsdA#2 光学扩散器系统
8l!S<RA #"i}wS /"iYEr%_ 'ARQ7 Q[` 2 点击Go!按钮开始
模拟扩散器系统.
V7rcnk# 模拟结果
Wt8;S$!=R .V/TVz!b 2 扩散器系统产生的光图样强度分布
I|WBT 传输器提取
xu+wi>Y^ C:4h 2 双击光路径图中的Stored Transmission打开编辑对话框
Pq7YJ"Z?: 传输器(transmission)提取
jgEiemh& qx_+mCZ 2 点击Show按钮显示光路中的transmission.
cE]tvL:g 扩散器传输
T w"^I*B BIcE3}dS8 ,dh*GJ{5 {'d?vm!r 2 点击Cancel按钮
Lk3@Eu) 结构数据的产生
h+Dg"j<[ uE5kL{Fv :kFWUs= Iupk+x> I9>1WT<Yy 2 点击窗口上部以激活窗口
d(To)ly. 2 点击设计菜单中Structure Design
4|++0=#D$ 结构数据的产生
8swj'SjX L}:u9$w 2 该结构设计对话框计算采用薄元件近似的传输相位得到的高度分布
.4-; 2 近似对于大于5个
波长的有效。对于越小的越不精确。
_|6{( 2 选择Target File Export以产生结构数据
d(v )SS 结构数据的产生
fep#Kb%"e \f{C2d/6j nHT2M{R 2 对话框可以计算微小结构透明板和镜面.2 选择Height Profile of Transparent Plate.
m! p'nP
结构数据的产生
O 6A:0yM4 2 设置正确的衬底和覆盖
材料 W"wP% 2 点击Set按钮
pazFVzT 结构数据的产生
^$x^JM ]/ 2 对话框显示所有打开的材料文件的菜单 2 如果没有想要的材料文件打开,点击Load from Catalog 按钮从catalog中得到材料.结构数据的产生
xQJdt$]U@ ~Dkje 2 选择材料目录Miscellaneous 2 选择材料PMMA 2 点击Load按钮.结构数据的产生
]
YQ*mvI]
2 输入设计波长 :5CwRg 2 如果衍射元件包含不连续高度层的高度分布,开启Enfore Quantization, Gm>8=
=c
2 输入层数4 b(~NqV!i 结构数据的产生 L"('gc!W I{1w8m4O6
U<#i\4W
2 结构设计对话框显示需要调节的高度分布的深度使产生2pi相位差(一个波长) =|?w<qc
2 另外,可以查看考虑到特定层数的高度分布图调节深度 y f+/Kj<
a
结构数据的产生 <ygkK5#q jRq>Sz{8 C{Npipd}v 2 下面部分可以定义结构的数据格式
eKLxNw5 2 VirtualLab产生两种不同类型的文件:
J-I7K!B —参数汇总文件包括大部分输入参数的概括,如蚀刻深度,设计波长,元件名称等等。数据可以存储为.xml, .html或者.txt文件。
RHB>svT^K> —表面数据文件包括高度数据。数据可以存储为位图(bitmap),GDSII或者ASCII文件。
Ye1P5+W( 结构数据的产生
`9$?g|rB i>e7 5`9 2 选择你想要创建的参数汇总文件
bJ/~UEZw 2 .xml文件是强制的和需要再次输入到Virtuallab中
eUBk^C]\ 结构数据的产生
nGyY`wt&Rg Ui1K66{ m0\(a_0V 2 有效的文件类型依赖于制造技术
5(U.< 2 对于灰度印刷反选Use Layers. 高度分布数据可以存储在位图或Text格式(和ASCII格式)
gk]r:p<