如何将光聚焦到一个越来越小的光斑上，是光学领域中一直存在的问题，特别是最近，已发展出各种旨在深聚焦光的方法。研究高数值孔径条件下的光聚焦通常需要全矢量电磁仿真技术。我们使用VirtualLab Fusion软件演示了不同偏振态(如径向)和孔径形状(如环形)对聚焦区域电磁场的影响，这种分析既可以用理想透镜，也可以用具有明确结构和材料信息的真实透镜进行。 P5] cEZ n &(Xp_3PO 用消球差透镜对各种偏振光束进行深聚焦 a` /[\ K6
nqiy)ZN#R VirtualLab Fusion中的消球差透镜模型，为分析具有不同形状孔径的各种偏振矢量场的聚焦效果，提供了一种简便的方法。 ~)oC+H@{
%\:.rs^ 分析高NA物镜聚焦
!X[lNt O ]6=cSs! 高NA物镜广泛应用于光刻、显微等领域。在对这种聚焦系统的仿真中，考虑光的矢量特性是非常重要的。 :*}tkr4&eh `DWz p5Ax
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