MCV-500激光多普勒干涉仪简介
Q|y }mC/ NvK9L.K MCV-500激光多普勒干涉仪采用了美国光动公司(Optodyne,Inc.)独家拥有的激光多普勒测量仪(LDDM)专利技术,它利用了激光多普勒频差效应的原理,对线位移进行精密测量,具有测量精度高、响应速度快等特点,它对数据能进行自动采集,对温度压力进行自动补偿,MCV-500配用的是单光束激光头,它主要应用于下列三个方面:
iL/c^(1 %6K7uvTq 1、广泛应用于数控机床、三坐标测量机、测长机等精密机械的定位精度的检测与补偿。
,'L>:pF3 2、MCV-500配上LB-500附件后可检测数控机床的圆形运动,检测数控机床伺服系统控制能力的优劣,测定数控机床实际的进给速度和加速度。
?K1B^M=8 3、MCV-500配上SD-500附件后可对数控机床进行分轴步进体积测量,通过测量数控机床四条立体对角线的行程精度,而测出机床的12个参数,即各轴的行程精度(即位置精度),各轴的水平方向,垂直方向的直线度以及各轴之间相互垂直度。
P.~UUS 6BE,L MCV-500激光多普勒干涉仪与其他品牌激光干涉仪相比较具有如下优点:
)p&g!qA u{1R=ML 1、激光头的外形尺寸及重量明显小于其它品牌激光干涉仪的激光头,因而在实际使用中可以不用三脚架,整台仪器仅需一只手提箱。
K_Y-N!h 2、由于工作原理的不同,无需使用分光镜,因而对光极其方便。
mz?<t/$U 3、由于工作原理不同,无需使用反光镜来代替平行反光镜(即锥体棱镜)作为靶标来实现圆形运动和分轴步进体积测量,而这种测量是其它激光干涉仪无法实现的。
qF)J#$4;6 4、检测圆形运动与传统球棒仪有如下优点:
Im]@#X 1)非接触测量,测量半径可以1mm~150mm。测量圆越小越能反映机床伺服系统控制能力的优劣。
oO}g~<fYG 2)它无电缆,可以重复测量任意多圆。
,p2UshOmd 3)它实测X(t),Y(t),因此可测量实际的进给速度和加速度。
Cq5.gkS< h>Kx MCV-500激光多普勒干涉仪的主要技术参数:
'nmGHorp 激光稳定性: 0.1ppm
0uy'Py@2< 最大移动速度: 3.6m/秒
B|`?hw@g+ 定位精度: 1.0ppm(1μm/m)
unDW2#GX 工作环境温度: 5~38℃
"2%z;!U1 分辨率: 0.01μm
(leX` SN0u 工作环境湿度: 0 ~95%
%h.zkocM 测量范围: 15m(可选购30m)
so))J`ca) 海拔高度: 0 ~ 3000m
vu0Ql1 使用电源: 90~230VAC;50~60HZ
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