-
UID:317649
-
- 注册时间2020-06-19
- 最后登录2024-05-17
- 在线时间1264小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
Vx0V6{JX 这是一个一维周期线光栅的简单例子。周期单元包含了光栅的2D横截面。在这种情况下,线型的横截面具有梯形形状,它位于衬底上并被背景材料包围。示例中的材质选择为铬(线)、玻璃(衬底)和空气(背景)。 8sbS7*# r2sog{R 光栅由s偏振和p偏振的平面波照射。JCMSuite计算近场分布。下图显示了从衬底一侧以193 nm波长垂直入射的结构内的近场强度。 mLq?-&F S偏振照明的近场强度 },f7I^s| P偏振照明的近场强度 <:&w/NjbI 傅立叶变换后处理计算透射衍射级的振幅。 i:[B#|% W%h<@@c4, 参数扫描 le[5a=e( 5/*ZqrJw{" Matlab®脚本data_analysis/run_can_illlightation.m提供对入射角度的扫描。 f%@Y
XGf hF2
G{{8A 它会生成以下曲线图,显示反射和透射衍射级的强度: {O^1WgGc[ ,2kWj7H%7 在脚本data_analysis/run_can_width.m中,线条的宽度在150 nm到250 nm之间变化,照明角度固定。 sPZa|AKHb OdR
QQ:2987619807
|