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本案例介绍利用衍射扩散器使准分子激光光束均匀化,通过优化扩散器以生成一个圆形的top hat。 4I[g{S
nF h.\9a3B:r 关键词:衍射光学,衍射光学元件,均匀(homogenization),扩散器,准分子激光,部分相干 `GG PkTN U73{Uv 所需工具箱:Starter Toolbox Premium bB^SD] }C JQ*CF(9 相关Tutorials:HSL.1, DO.2 XOM@Pi#z xY/
S;dE 建模任务 );$L#XpB 衍射扩散传输器 目标平面 tXocGM{6C ?1I0VA'] )32BM+f"77 准分子激光 聚焦透镜(f=20mm) 强度分布 ijYSYX@ 0% |<@X* #X5 照射光束参数 !2('Cq_^ kCRP?sj ·光源面尺寸:100×100um :EK.&%2 ·发散角(HWHM):0.89×0.89° >Ic)RPO9 ·空间相干长度:3×3 um ;UU+:~ ·波长:351nm N[~"X**x +yq Z\$ii 衍射发散器 crJyk #_ 6 ]@H .8+ Ny;(1N|&3 c%uX+\-$ ·取样间隔:5um :VPZGzK4 ·尺寸:640×640um o0>z6Ya< ·相位阶数:8 r lalr+Rf 发散传输器相位 [Ng#/QXk{ _RFTm.9& 载入光路径图 RNyw`> G<C[A
#:v e3gWl D]9I-| ·载入文件HSL.002_Homogenization_Excimer_Laser_by_DOE_01.lpd。 uvK1gJrA) qbjLTE= · 该文件在本案例VL_Samples文件夹中。 d#N<t` %Ot22a 高斯型面光源 :QnN7&j|(w TR8<= 1/Pou)D pJ6Z/3] m<>3GF,5bP 双击Gaussian Type Plane Source打开编辑对话框。 ZB'/DO=i R=IZFwr y>vr Uxgo _5vAnt* ·Gaussian Type Plane Source利用一些非相干高斯光源来模拟空间相干光源。 ^D(N_va< · 光源需通过以下设置来对准分子激光束建模。 !"2nL%PW~ · 第一步将波长设为351nm。 uL^Qtmm>M · 在Power Spectrum Type下拉框中选择Single Wavelength。(VirtualLab同样支持多波长的模拟。) ^+zF;Q' d v@B-l; <im
BFw |?CR|xqT ·转到Spatial Parameters ZqQJFyV* 标签页中更改光源的辐射特性。 >!|Hns m}] bP K@P5]}'# ·光源由Size of Source Plane和Divergence angle或Coherence Length或Waist Radius其中的一种来定义。后面的三个参数不能独立改变,因为它们彼此相关。 $UMxO`F ·按照截图输入Size of Source Plane和Spatial Coherence Length值。 u/e-m/ 7hq*+e 'W5r(M4U lzz rzx^ · 转到Mode Selection标签页。 `MAluu+b · 该标签页用来控制模拟空间和时间相干性的模式数(时间相干性通过光谱功率来模拟)。 oHkF>B
[ · 在该页的顶部可以看到总的模式数。 iN0gvjZ · 底部框用来控制模拟空间相干的Lateral Modes数。 q;a`*gX^ bv`gjR CUgXpU* &A |