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    [分享]GLAD:光刻成像系统的建模 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-29
    概述 TyY%<NCIb  
    系统由一个聚光镜、一个倾斜球体和一个Schwartzchild设计的中继镜组成。光源成像到中继镜的光瞳中。光束在物体掩模处会聚,在中继透镜的光瞳处形成点像。在中继透镜的瞳孔处,多条条纹图案将形成一个中心波瓣和侧波瓣。如下图所示: 7j8lhrM}^  
    -car>hQq  
     掩模上的条形图案在中继瞳孔中产生旁瓣 se=;vp]3a  
     窄条产生宽的旁瓣,仅部分通过中继入口瞳孔 B *%ey?  
     宽条产生较窄的旁瓣,更容易通过中继入口瞳孔 6/6{69tnr  
     部分通过旁瓣会产生部分解析 Zm*qV!  
    V{UY_ e8W  
    系统描述 'P)c'uqd#  
    pp@O6   
    本例介绍了如何采用全局衍射分析对部分相干进行建模。如上图所示,整体装置是一个科勒照明系统,其中有一个聚光元件能够将非相干光源的光进入转像透镜的孔径中。在一个经典的科勒照明系统中,点光源通过一个聚光镜成像在转像系统的光瞳中。光源照亮物体掩膜面,并在最后的成像面上得到适当的放大。为了对光束合理采样,光源放在物的共轭点处,这样在光源面上,点光源将是有一定维度的,而不是像理想点光源那样,会引起混沌。对一个具有一定尺寸的光源,它所成的像就是部分相干的。如果光源足够大,大到可以填满转像透镜的孔径的话,所成的像将是非相干的。  ZvwU  
    Cy dV$!&mP  
    模拟结果 `BVXF#sb  
    2Q5 -.2]  
    三栅条图样的部分相干成像 4W#DLip9  
       XAZPbvG|$  
    两组七栅条图样建模对比 ![9$ru  
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    QQ:2987619807
     
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