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    [讨论]铬层打底膜裂，请教各位大佬是什么原因？ [复制链接]

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    离线wqshaha
    实习生
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-26
    隔层打底（25nm），镀AL高反膜，炉温110度左右，镀完有的铬层膜裂（5%几率），有的不会。裂纹很细，在四角或者整面都是。请问是什么原因造成的？
     
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    离线f4213705
    技术员
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    只看该作者 1楼 发表于: 2021-07-06
    镀在什么材质上，这个也很重要 KTmduf7DL  
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    离线wqshaha
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    只看该作者 2楼 发表于: 2021-08-23
    回 f4213705 的帖子
    f4213705:镀在什么材质上，这个也很重要 $ Ith8p~  
     (2021-07-06 08:55)  \\D(St  
    K8R}2K-Y  
    镀在PC上的 6F)^8s02h  
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    离线lyz781128
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    只看该作者 3楼 发表于: 2021-09-07
    用SHIO2打底试一下
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    离线囊中蓄乾坤
    助理工程师
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    只看该作者 4楼 发表于: 2021-10-19
    打底不用打那厚，25nm太厚了。几个nm就好了。膜片以前都是CR打底的。不行就换SIO2
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    离线聂光辉
    实习生
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    只看该作者 5楼 发表于: 2022-04-20
    口径反射镜高反射膜研究进展.pdf，需要的下载5451
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