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    [讨论]IBS和IBE设备需求大么? [复制链接]

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    离线ouyuu
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    最近在接触一家做IBS和IBE设备的日本厂家。他们想调查一下中国市场有没有前途。 {w(6Tc  
    我这几天去了上海慕尼黑光电展,看了一些IBS和IBE的产品,基本上产品的领域很窄。 r{#od 7;  
    .O3i"X]  
    那家厂家做的IBS的基本情况是这样的: |Ag~k? QC  
    使用的是美国产的离子源(考夫曼博士自家的产品,基本和VEECO一样),所以和VEECO一样有美国输出限制。 yps7MM-r  
    实际大概做了十几台,基本上是在日本的一些研究院,台湾的某个客户买了几台做BPF。 :'f#0ox  
    大概能做100mm直径的工件一枚,工件厚度最大10mm。 E3_e~yu&  
    镀膜能做200多层,每层大概几个纳米 (JocnM|U  
    因为是离子溅射镀膜,镀膜速度非常慢,200层左右大概要镀5天左右。 4M6o+WV  
    (高于200层因为应力很大,哪怕10mm的板子也会破裂) xFHc+m' m~  
    Dsm_T1X  
    产品一般运用在5G通讯,激光,高反射镜,重力波镜,EUV镜上面。 @PZ&/F ^  
    不知道论坛里面哪位是在这个范围内的,这种设备(镀膜慢,工件小)是否在国内有前途?
     
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    离线coldking
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    只看该作者 4楼 发表于: 2023-03-02
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:您太客气了。我只是进入这个行业比较早,经验比较多一点。 vd|PTHV_  
    就镀膜这个行业来讲,镀膜是个系统工程,需要学习的知识实在是太多了。 #|v\UJ:Pf/  
    恰巧我在离子源这方面做的比较多一点,所以想扩展出来做些事情。
    蒸发镀膜这个行业已经慢慢的下沉了,所以想往半导体或者溅射,化学镀膜方向走走看 .. (2021-10-16 16:29)  8Focs p2  
    MBIt)d@Ix  
    你好啊,有機會交流一下 IiHl"2+/  
    我以前公司有這種機台 IBS的 )-xx$0mL-  
    光譜能鍍的很漂亮,很多高規格產品都要用這種 }N]|zCEj  
    Lco JltY{5  
    V k5}d[[l  
    离线聂光辉
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    只看该作者 3楼 发表于: 2022-04-20
    很多干扰因素会更多。有机会也会试试954414
    离线ouyuu
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    只看该作者 2楼 发表于: 2021-10-16
    您太客气了。我只是进入这个行业比较早,经验比较多一点。 }xcA`w3u2?  
    就镀膜这个行业来讲,镀膜是个系统工程,需要学习的知识实在是太多了。 O68/Hf1W  
    恰巧我在离子源这方面做的比较多一点,所以想扩展出来做些事情。 LX[<Wh_X(  
    %JeT,{  
    蒸发镀膜这个行业已经慢慢的下沉了,所以想往半导体或者溅射,化学镀膜方向走走看。 5tdFd"oo  
    离线春风依旧
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    只看该作者 1楼 发表于: 2021-10-13
    离子溅射和刻蚀终将走集成自动化,毕竟高端质量在这,作者是行业大佬,有机会虚心向您学习